UV-351

小型輕量、本體+感應器一體式UV能量計

可適用于UV曝光機與傳送帶的計測器。

特點：

1、可以管理UV曝光裝置和UV傳送帶的光量和照度。

2、小型，輕量，輕薄。反射形。

3、結合機型和用途提供UV-351、UV-351-25、UV-351-42等多種選擇

4、擁有光量檢測、照度檢測、照度峰值等多種測定模式。

5、高耐熱，結構堅固。

型號：UV-351

測定波長范圍：310~384nm

測定照度范圍：0.1~100.0mW/Cm2

測定光量范圍：1-19999mJ/cm2

合并精度：本社感應器誤差在±1.5%以內

重復操作精度：1.5%以內

它是一種集受光部分和主體于一體的小型、輕便、手持式測量儀器。 該測量儀器與UV光刻設備和UV輸送機兼容。

可以管理光刻設備、UV輸送機等的照度和光強度。

它體積小、重量輕、薄且方便。

您可以根據應用選擇 UV-351（相當于 UV-SD35）、UV-351-25（相當于 UV-SD25）和 UV-351-42（相當于 UV-SD42）型號。

可選擇多種測量模式，如光強測量、照度測量、峰值照度測量等。

它具有金屬機身，耐熱，并具有堅固的結構。

SN模式已被長期使用我們的光刻設備和輻照設備的客戶廣泛采用，并保證了工藝管理的連續性。

SD型推薦給在半導體和液晶基板的制造過程中已經使用其他公司生產的測光表的客戶，以及需要確保與這些測量儀器的數據兼容性的客戶（SD型也用于我們的光刻設備中的液晶基板的投影光刻設備和外圍光刻設備），以及使用全新測光表的客戶。

為了保證舊過程數據的兼容性，使用SN型為SD型提供指示值（在相同測量條件下測量用作校準輻射源的高壓UV燈的365nm發射線時顯示的照度值： mW/cm2）。

與可見光的照度計和照度計（以LUX單位測量家庭，辦公室，商店，博物館等亮度的照度計和照度計）不同，適用于所有照度計和紫外線照度計的標準尚未建立（似乎正在為少數有限的應用進行JIS轉換工作）。

即使各公司的相對光譜靈敏度是以365nm發射線為主要組成的光源測量照度而制作的，也從測量的峰值波長（相對光譜靈敏度特性的波長用1表示），短波長側（約300nm~310nm）和長波長側（約380nm~400nm）的上升開始。 下降的波長和它前后的曲線略有不同。

此外，在設計方面已經做出了努力，使感光器的感光角特性（據說是COSθ特性）更接近理想曲線，但現實情況是它們尚未實現。