體積電阻率和表面電阻率

使用該電阻率校正系數，可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]計算體積電阻率和表面電阻率。

體積電阻率（單位：Ω·cm）是單位體積的電阻，根據領域的不同，表達方式也不同，

例如材料領域的體積電阻率、電子領域的比電阻、物理領域的電阻率等。

特定于（科學年表中列出）的物理量，用作許多材料電導率的絕對量度。

另一方面，表面電阻率（單位：Ω/□、Ω/sq.，發音為歐姆每平方）是單位面積的電阻，

也稱為方塊電阻或簡稱為表面電阻，用于涂層、薄膜等。它用于領域應特別注意表面電阻，

因為它可能與使用[公式3.5.2]轉換之前的電阻相混淆。

使用四點探針法的電阻率測量長期以來一直用于測量硅片，對于無限大（和無限?。┑臉悠芬汛_定值為 4.532。

我們針對矩形和圓形樣品確定了任意尺寸和測量位置的校正系數，并進行了實驗驗證。