fei透射電鏡是一種能夠提供非常高分辨率的顯微成像設(shè)備,它允許用戶(hù)觀察極小尺寸的樣本。以下是fei透射電鏡的主要組成部分及其各自的功能:
1、照明系統(tǒng):主要由電子槍和會(huì)聚鏡組成。電子槍包括陰極(燈絲)、柵極和陽(yáng)極,負(fù)責(zé)發(fā)射并加速電子束,形成具有一定能量的電子束。會(huì)聚鏡則用于調(diào)節(jié)電子束,使其成為發(fā)散角很小甚至為零的平行電子束。
2、成像系統(tǒng):包含物鏡、中間鏡和投影鏡。物鏡是對(duì)穿過(guò)樣本的電子束進(jìn)行聚焦與放大的透鏡;中間鏡進(jìn)一步放大圖像,并可以控制成像模式;投影鏡則執(zhí)行最終的放大工作。這些透鏡共同作用,將樣本的細(xì)節(jié)放大到方便觀察的尺寸。
3、真空系統(tǒng):確保電子束在無(wú)空氣阻力的環(huán)境中行進(jìn),防止樣本受到污染或損壞。該系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵等組件構(gòu)成,以維持電鏡內(nèi)的高真空狀態(tài)。
4、電氣系統(tǒng):為fei透射電鏡提供穩(wěn)定的電源,并且包含用于調(diào)整和控制電鏡各項(xiàng)功能的電路。這包括調(diào)整加速電壓、透鏡電流等關(guān)鍵參數(shù)。
5、觀察照相室:包括熒光屏和CCD相機(jī)。熒光屏將電子信號(hào)轉(zhuǎn)化為可見(jiàn)光,便于操作者直接觀察。而CCD相機(jī)則能將光學(xué)影像轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào),以便進(jìn)行記錄和分析。
6、調(diào)校系統(tǒng):含有消像散器、束取向調(diào)整器和光闌等,用于優(yōu)化成像質(zhì)量,校正可能的光學(xué)畸變。
7、樣品桿:裝載需觀察的樣品。樣品需要制備成非常薄的切片,以便電子束能夠透過(guò)。
8、水冷系統(tǒng):某些電鏡組件在運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生高溫,水冷系統(tǒng)用于維持設(shè)備的正常工作溫度,避免過(guò)熱損害設(shè)備。
綜上所述,fei透射電鏡通過(guò)其精密的結(jié)構(gòu)和復(fù)雜的系統(tǒng)協(xié)同工作,提供了觀察微觀世界的強(qiáng)大能力,對(duì)于材料科學(xué)、生物學(xué)和物理學(xué)等領(lǐng)域的研究至關(guān)重要。
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