通過開發的環境溫度補償傳感器降低壓力損失，該傳感器具有低壓力損失規格和±1%FS的精度。

專有的壓電執行器閥可提供精確的流量控制和低壓差穩定性。

特征

• 低壓差（800Pa）

• 工作溫度5-50℃

• 金屬密封

• 清潔（保證顆粒）

• 環境溫度補償傳感器

• RS-485通訊

選項

• 微流FS

低溫低蒸氣壓氣體流量控制

MC-3000S是一款低差壓質量流量控制器，采用開發的低壓降結構，即使在室溫下，只要二次側處于真空狀態，也可以控制H2O等液體原料的流量。推薦用于向真空室發送少量水蒸氣的 ITO 濺射方法。此外，還可以在室溫下控制XeF2等低蒸氣壓固體材料的流量。

真空罐式集裝箱（SDS集裝箱）流量控制

離子注入機使用AsH3、PH3等特殊材料氣體，為了安全穩定地供應，通常采用安全傳輸源（SDS）容器來供應。SDS填充的罐壓低于大氣壓，需要MFC能夠以低壓差控制流量。MC-3000S的低壓降結構可實現最小壓差800Pa（6Torr）的流量控制。

規格表