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掃描電鏡液體熱電原位系統(tǒng)攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。實(shí)驗(yàn)中，采用MEMS微加工工藝，使電化學(xué)芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜厚度最薄可達(dá)10nm，極大減少了對電子束的干擾，液相環(huán)境可達(dá)到納米級分辨率。
本公司提供的掃描電鏡液體熱電原位系統(tǒng)有高安全性：
1．市面常見的其他品牌液體樣品桿，由于受自身液體池芯片設(shè)計(jì)方案制約，只能通過液體泵產(chǎn)生的巨大壓力推動(dòng)大流量液體流經(jīng)樣品臺及芯片外圍區(qū)域，有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴(kuò)散效應(yīng)進(jìn)入芯片中間的納米孔道，芯片觀察窗里并無真實(shí)流量流速控制。
2．采用納流控技術(shù)，通過壓電微控系統(tǒng)進(jìn)行流體微分控制，實(shí)現(xiàn)納升級微量流體輸送，原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別，有效保證電鏡安全。
3．采用高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險(xiǎn)。
4．采用超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。
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