l、 UV（紫外殺菌）
純水機中使用的UV燈屬于一種低壓汞燈，和普通日光燈一樣，是利用低壓汞蒸汽被激發后發射紫外線。發射出的紫外線有254nm和185nm兩個峰值。UV燈和日光燈的不同之處在于燈管。日光燈的燈管采用的是普通玻璃，254nm紫外線不能透出來；而UV燈的燈管采用石英玻璃制作，各波段紫外線都能很好的透出來。

外線具有很好的殺菌作用，這是因為細胞對光波的吸收譜線有一個規律，在250~270nm的紫外線有的吸收，被吸收的紫外線實際上作用于細胞遺傳物質即DNA，它起到一種光化作用，紫外光子的能量被DNA中的堿基對吸收，引起遺傳物質發生變異，使細菌當即死亡或不能繁殖后代，達到殺菌的目的。

185nm紫外線能夠降解有機物。研究表明，波長為185nm的紫外線能與水作用，引起水的均裂反應，產生活性中間體羥自由基。羥自由基具有的氧化性，引起水中有機物的降解和礦化，從而使其TOC濃度降低，達到降解水中TOC的作用。
2、 UF（超濾）

超濾技術使用孔徑大小通常在 1 至 10 納米的膜濾器來清除像蛋白質分子大小的微粒。中空纖維結構的超濾膜通常有較高的濾過速率。
超濾膜通常安裝在靠近純水儀出口處的位置以降低微生物和有機大分子，包括核酸酶和內毒素的濃度。超濾膜必須定期清洗和更換以保持其效能。超濾可以以傳統的方式安裝，所有水流徑直穿透濾膜，或者以更佳的方式——切向流方式，一部分進水平行流過膜表面帶走污染物以減少其對膜表面的堵塞。
對于保障超純水在顆粒、細菌和熱源含量等各項指標上保持穩定的高質量，UF 是一項出色的技術。
3、 MF（微濾）

純水系統中的微濾器對水中顆粒物和微生物進行物理性阻截。微濾器根據顆粒的大小分級，有較一致的分子結構，截留所有大于其表面孔徑的顆粒。
微濾器（0.1-0.22μm）通常被放置在盡可能接近出水點的地方來捕獲微生物和微細顆粒。
所截留的顆粒物包括微生物或其代謝物和可溶性物質，可能再次從濾器中瀝濾出來，所以對微濾器的適當維護（定期消毒和周期性更換）是必要的，使其性能保持在理想水平。