一、物鏡縮寫定義
二、物鏡符號
三、物鏡系列清單
*1 DIC棱鏡 U-DICR: UM/LM位置,U-DICRHC:LM位置固定,U-DICRH:UM位置固定。
*2 40X: BF僅
*3 5–20X: 也可U激發。
#:響應; #:最佳響應; BF:明場;DF:暗場;DIC:微分干涉差;POL:偏光; FL:熒光。
四、各系列物鏡的特點
1.MPLAPON系列: M型平場復消色差
該系列復消色差物鏡具有最佳的校正色差水平。奧林巴斯為其光學性能(波 陣面像差校正)提供95%或更高斯特列爾比(Strehl Ratio)**擔保*。該系列物 鏡可與奧林巴斯U-AFA2M有源自動聚焦單元一起使用。
2.MPLAPON100XO2: M型平場復消色差
該平場復消色差物鏡采用油浸設計***,其數值孔徑為1.45。該物鏡具有出色 的色差校正和高分辨率。 MPLFLN系列:M型平場半復消色差—第3-3頁 該系列平場復消色差物鏡可對色差進行高級別校正。該系列的八款物鏡具有 1.25倍至100倍的放大倍率,最小工作距離為1 mm(40倍率除外)。由于 5X–100X物鏡的出瞳位置已經標準化,因此在更換放大倍率時無需切換DIC 棱鏡的位置(40X不適用于DIC觀察)。對于極低的放大倍率(1.25倍,2.5 倍),可將物鏡與檢偏器、起偏器和反射光照明器一起使用。 3.LMPLFLN系列:長工作距離M型平場復消色差物鏡
該系列長工作距離平場半復消色差物鏡可對色差進行高級別校正。由于工作 距離長,此類物鏡特別適合觀察較大尺寸的樣品。由于5X–100X物鏡的出瞳 位置已經標準化,因此在更換放大倍率時無需切換DIC棱鏡的位置。 MPLN系列:M型平場消色差物鏡-第3-5頁 平場復消色差物鏡FN 22的出色圖像平面度。 4.LCPLFLN-LCD系列:LCD長工作距離M型平場半復消色差物鏡
此類物鏡專門設計用于通過LCD面板以及對其他帶有玻璃基板的樣品進行觀 察。校正環可提供與玻璃厚度匹配的像差校正。 SLMPLN系列:超長工作距離M型平場消色差物鏡-第3-7頁 此類物鏡均為具有超長工作距離的高倍率平場消色差物鏡。可提供三種放大 倍率:20X、50X和100X。5X或10X物鏡可從LMPLFLN系列中選擇。
5.LMPLN-IR系列:紅外長工作距離M型平場復消色差物鏡
該系列物鏡專為近紅外顯微鏡而設計,通常用于觀察硅晶片的內部結構。
6.LCPLN-IR系列:紅外長工作距離M型平場復消色差物鏡
該系列物鏡專為近紅外顯微鏡而設計,通常用于觀察硅晶片的內部結構。此 類物鏡配有可根據硅或玻璃基板厚度校正像差的校正環。
7.MPLFLN-BD系列:M型平場半復消色差物鏡BD
該系列平場半復消色差物鏡能夠最少1 mm的工作距離實現色差的高級別校 正。由于5X–150X物鏡的出瞳位置已經標準化,因此在更換放大倍率時無需 切換DIC棱鏡的位置。
8.MPLFLN-BDP系列:M型平場半復消色差物鏡BDP
該系列平場半復消色差物鏡能夠最少1 mm的工作距離實現色差的高級別校 正。由于5X–100X物鏡的出瞳位置已經標準化,因此在更換放大倍率時無需 切換DIC棱鏡的位置。該系列針對明場、暗場和偏光觀察進行優化,并可用 于微分干涉相差觀察。
9.LMPLFLN-BD系列:長工作距離型平場半復消色差物鏡BD
該系列長距離工作計劃半復消色差物鏡可對色差進行高級別校正,適用于觀 察高度或形貌變化的樣品。由于5X–100X物鏡的出瞳位置已經標準化,因此 在更換放大倍率時無需切換DIC棱鏡的位置。
10.MPLN-BD系列:M型平場復消色差物鏡BD
該系列平場復消色差物鏡可實現高達FN 22的出色圖像平面度。
11.WLI100XMRTC系列:白光干涉測量物鏡
該物鏡設計用于與Mirau型白光干涉儀配合使用,并可以承受高溫。該物鏡 的工作距離為0.7 mm,并具有可獲得更出色聚光效果的優化數值孔徑0.8。
* 使用奧林巴斯干涉儀評估的測量擔保適用于以下條件下進行的透射光波陣 面測量:溫度23°C + 1°C;在瞳徑97%范圍內進行的測量。
** 斯特列爾比:以百分比(%)表示實際光學系統所匯聚光束的強度與理想 無像差光學系統在像平面匯聚光束強度(中心強度)的比值,以后者的值 作為100%。百分比越高,表示光學系統的質量越好。
*** 認定用油: IMMOIL-F30CC
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