雙氧水也叫過(guò)氧化氫，過(guò)氧化氫是一種重要的化工原料，化學(xué)式為H²O²。純過(guò)氧化氫是淡藍(lán)色的黏稠液體，可任意比例與水混溶，是一種強(qiáng)氧化劑，水溶液俗稱雙氧水，為無(wú)色透明液體。雙氧水的生產(chǎn)方法主要有電解法、蒽醌法、異丙醇法、氧陰極還原法和氫氧直接化合法等，蒽醌法是生產(chǎn)雙氧水的主要方法，國(guó)內(nèi)99%以上的雙氧水裝置采用該工藝。

雙氧水的作用

雙氧水根據(jù)濃度及應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為電子級(jí)、食品級(jí)、工業(yè)級(jí)等。電子級(jí)雙氧水是生產(chǎn)電子集成電路的化學(xué)試劑，在半導(dǎo)體制程前端硅片清洗和剝離蝕刻完成后的光刻膠。主要用于半導(dǎo)體硅晶片清洗劑，蝕刻劑和光刻膠去除劑，還可用于高級(jí)絕緣層制取，電鍍液無(wú)機(jī)雜質(zhì)去除，電子行業(yè)中銅、銅合金和鎵、鍺的處理，以及太陽(yáng)能硅晶片的蝕刻和清洗。從行業(yè)產(chǎn)量來(lái)看，2021年我國(guó)高純電子級(jí)雙氧水產(chǎn)量9.44萬(wàn)噸，同比增長(zhǎng)32.0%。

雙氧水的顆粒管控重要手段

電子級(jí)雙氧水屬于濕電子化學(xué)品，技術(shù)壁壘較高。雙氧水的顆粒管控也顯得尤為重要。普洛帝測(cè)控專門研發(fā)了針對(duì)雙氧水的顆粒管控設(shè)備PMT-2。在雙氧水生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。