減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器) 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ
?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
?接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。
?外部金屬密封構(gòu)造。
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產(chǎn)品樣本
說明書
推薦型號 技術(shù)資料/用語解說
系列 | 形式 | 用途 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
---|---|---|---|---|---|
AP/SL | 一段式 | 管路用(小型) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP/SL | 一段式 | 管路用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 大宗氣體用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/2'',3/4'',1'' |
AP/SL | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP/SL | 一段式 | 負壓調(diào)節(jié) | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 二段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' |
AZ | 一段式 | 管路用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AZ | 一段式 | 負壓調(diào)節(jié) | SUS316L | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器)/背壓閥 一般氣體用 AK/BP
?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
?主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。
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產(chǎn)品樣本
CAD
推薦型號 技術(shù)資料/用語解說
系列 | 型號 | 用途 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
---|---|---|---|---|---|
AK | 一段式 | 氣路用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 一段式 | 負壓調(diào)節(jié) | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'',3/8'' 1/2'' |
AK | 二段式 | 一次側(cè)高壓用 | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
BP | 背壓閥 | ― | SUS316 或黃銅 | NPT內(nèi)螺紋 卡套式接頭 | 1/4'' |
膜片閥 高純度工藝氣體用 AP
?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
?可作為氣體的切斷閥使用。
?接觸氣體部分無彈簧,驅(qū)動部也使用膜片隔離,因此減小了氣路的死區(qū),抑制了粒子的產(chǎn)生。
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產(chǎn)品樣本
推薦型號 技術(shù)資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
---|---|---|---|---|
AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
AP | 小型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 管焊接 | 1/4'',3/8'' 1/2'',3/4'' |
隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ
?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
?全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。
?符合SEMI規(guī)格
?采用方便作業(yè)的鍛造主體。
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產(chǎn)品樣本
推薦型號 技術(shù)資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
---|---|---|---|---|
AZ | 氣控型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
AZ | 手動型 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
單向閥/真空發(fā)生器/流量開關(guān) AP
[單向閥]
?防止背壓使流體逆流。
?構(gòu)造簡單,內(nèi)部的可動零部件僅為O形圈。
?采用無彈簧的構(gòu)造,可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒,降低下游的壓力變動。
[真空發(fā)生器]
?真空發(fā)生器。
?用于更換氣罐時,排出配管中殘余的氣體。
[流量開關(guān)]
?檢測配管破裂等造成的過剩流量。
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推薦型號 技術(shù)資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AP | 單向閥 | SUS316L二次熔煉 | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP | 真空發(fā)生器 | SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/4'',3/8'' |
AP | 流量開關(guān) | SUS316L二次熔煉 SUS316L | 面密封接頭 管子焊接 | 1/2'',3/4'' |
膜片閥 一般氣體用 AK
?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
?可用于精密洗凈。
?降低執(zhí)行器的高度,實現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3542, 4542)。
?操做通口為M5螺紋(AK3542, 4542)。
?手輪構(gòu)造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3652, 4652)。
?采用有凹凸的圓形手輪,更便于操作和確認(AK3652, 4652)。
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產(chǎn)品樣本
CAD
推薦型號 技術(shù)資料/用語解說
系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK | 氣控型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
AK | 手動型 | SUS316 | 卡套式接頭 Rc, R, NPT | 1/4'',3/8'' |
減壓閥/一般氣體用 AK1000T
?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
?產(chǎn)品體型小、重量輕。
質(zhì)量:0.52kg、高:97.5mm。
?內(nèi)部容積小,其體積存量少。
?配管擴展品
可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。
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產(chǎn)品樣本
推薦型號 技術(shù)資料/用于解說
系列 | 形式 | 主體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
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AK1000T | 手動型 | SUS316 | 壓縮接頭 Rc, NPT | 1/4'',3/8'' |
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