一、介紹:
(1)測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器;
(2)廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測量;
(3)采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。
二、分類介紹:
(1)光學(xué)測量顯微鏡,工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360度的旋轉(zhuǎn),是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。
(2)數(shù)碼測量顯微鏡,小巧便攜,只需一臺計(jì)算機(jī)就可以直觀的觀測微觀放大圖像,進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。
(3)Z軸非接觸式,以裂像聚焦指示器為測量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測方式進(jìn)行非接觸高低差測量。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀察測量點(diǎn)的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進(jìn)行測量。
三、應(yīng)用:主要使用與電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程,在塑膠行業(yè)和醫(yī)療業(yè),生物物醫(yī)學(xué)、系統(tǒng)等等有廣泛的應(yīng)用,特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構(gòu)造,觀察零件直接的精確距離,是*精密儀器。
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