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超純水機是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎可以去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。最終結果是加大了超純水機的使用成本。
所以，在超純水機的使用中，有以下方面的事情需要注意。
精密濾芯
精密濾芯又稱過濾濾芯，分線繞濾芯和PP熔噴濾芯，主要過濾原水中的泥沙等大的顆粒物，其過濾精度有5微米、1微米等。新的濾芯是白色，如果時間長了表面會淤積泥沙等，呈現褐色，這就表示該濾芯不能用了，用自來水沖洗掉表面淤泥后，可以勉強繼續使用1-2周，但不能長期使用。
濾芯放在濾瓶里面，有的濾瓶是透明的，可以直觀地觀察濾芯的顏色變化，有些濾瓶是不透明的，需要將其擰開后才能觀察濾芯的變化。從經驗數據統計來看，精密濾芯的壽命一般在3—6月，如原水的泥沙多，則其壽命短些，泥沙等顆粒物少，則壽命稍長一點。
活性炭濾芯
活性炭濾芯主要通過吸附作用，去除水中的異味、有機物等。自來水中有余氯，對反滲透膜有很大的氧化作用，所以必須經由活性炭去除。活性炭濾芯從表面上看沒有直觀的變化，根據經驗來看，一般在一年左右就達到飽和吸附，需要更換。
反滲透膜
反滲透膜是超純水機中十分重要的部件，其孔徑非常小，所以在使用過程中常常有細菌等微觀物質淤積在其表面，一般各個廠家的純水機都有反沖洗功能，旨在洗掉污染物。
純化柱
純化柱根據客戶的水質需求有時也叫超純化柱，自作用是對反滲透純水進行深度脫鹽，最終達到一級水或超純水水平。其原理是離子交換。
用水
以自來水為水源的超純水機一般都有兩個出水口，分別是三級水和一級水，經反滲透出來的水是三級水，存放在水箱里，而一級水是即用即取，不存放。三級水沒有通過純化柱，一級水通過了純化柱，一級水的成本高于三級水。所以在日常應用的時候，應根據水質需求分質取水，能用三級水時盡量不用一級水，避免使用成本的上升。
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