通過測(cè)量金屬被測(cè)體與探頭端面的相對(duì)位置,電渦流傳感器感應(yīng)并處理成相應(yīng)的電信號(hào)輸出。傳感器可長(zhǎng)期可靠工作、靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)、非接觸測(cè)量、響應(yīng)速度快不受油水等介質(zhì)的影響,在大型旋轉(zhuǎn)機(jī)械的軸位移、軸振動(dòng)、軸轉(zhuǎn)速等參數(shù)進(jìn)行長(zhǎng)期實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)中被廣泛應(yīng)用,并且被擴(kuò)展到衛(wèi)星發(fā)射、材料鑒定、稱重測(cè)量、金屬板厚測(cè)量、材料形變測(cè)量等應(yīng)用領(lǐng)域。
一體化電渦流傳感器的優(yōu)點(diǎn):
1、渦流傳感器是一種非接觸的線性化計(jì)量工具,能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。電渦流傳感器在測(cè)量過程中測(cè)量準(zhǔn)確性會(huì)受到一定的影響。
2、傳感器特性與被測(cè)體的電導(dǎo)率時(shí),由于渦流效應(yīng)和磁效應(yīng)同時(shí)存在,磁效應(yīng)反作用于渦流效應(yīng),使得渦流效應(yīng)減弱,即傳感器的靈敏度降低。而當(dāng)被測(cè)體為弱導(dǎo)磁材料(如銅,鋁,合金鋼等)時(shí),由于磁效應(yīng)弱,相對(duì)來說渦流效應(yīng)要強(qiáng),因此傳感器感應(yīng)靈敏度要高。
3、不規(guī)則的被測(cè)體表面,會(huì)給實(shí)際的測(cè)量帶來附加誤差,因此對(duì)被測(cè)體表面應(yīng)該平整光滑,不應(yīng)存在凸起、洞眼、刻痕、凹槽等缺陷。一般要求,對(duì)于振動(dòng)測(cè)量的被測(cè)表面粗糙度要求在0.4um~0.8um之間;對(duì)于位移測(cè)量被測(cè)表面粗糙度要求在0.4um~1.6um之間。
4、電渦流效應(yīng)主要集中在被測(cè)體表面,如果由于加工過程中形成殘磁效應(yīng),以及淬火不均勻、硬度不均勻、金相組織不均勻、結(jié)晶結(jié)構(gòu)不均勻等都會(huì)影響傳感器特性。在進(jìn)行振動(dòng)測(cè)量時(shí),如果被測(cè)體表面殘磁效應(yīng)過大,會(huì)出現(xiàn)測(cè)量波形發(fā)生畸變。
電渦流傳感器具有很高的精度,甚至可以被用于微米級(jí)別的測(cè)量任務(wù)。目前,該系列傳感器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備,航天,發(fā)電輪機(jī),造船,鐵路,汽車檢測(cè)和機(jī)床行業(yè)。
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