探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。
維護和保養(yǎng)
1. 避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺時應避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發(fā)生故障或異常異音。
2.儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。
儀器運輸應使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械精密部件,光學部件,電學接觸面污染,導致儀器精度降低。
探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發(fā)生故障或危險。
探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時易燃物,注意使用安全。
停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
操作人員必須嚴格按要求操作,以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用。
4.工作環(huán)境
探針臺應放在穩(wěn)定可靠的臺面上,最好是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
使用最佳溫度范圍為5℃~40℃,最佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達到除濕效果。
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