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電感耦合等離子體質譜儀可以用于物質試樣中一個或者多個元素的定性、半定量和定量分析;能測定周期表中90%的元素，特別是對金屬元素分析擅長，他和ICP-OES、AAS是化學元素分析的常用的三種儀器，其中ICP-MS的檢測限低，可以達到PPT(10的負12次方)級。標準偏差為2-4%，每個元素的測定時間僅為10s,非常適合多元素的同時測定分析。
電感耦合等離子體質譜儀的工作原理是被測元素以一定的形式進入高頻等離子體，在高溫下電離成離子。利用離子光學透鏡聚焦，根據電荷質量比對產生的離子進行分離，既可以用電荷質量比來定量分析，也可以用比電荷質量比的離子數來定量分析。質譜儀主要由離子源、質譜儀和檢測器組成。它還配備了數據處理系統、真空系統、電源控制系統等。
注意：
1、保持室內清潔，干燥。
2、不要做與紅外無關的操作。
3、不得自帶U盤進行拷貝。
4、不得隨意改變參數。
5、操作過程用力不能過猛。
6、使用的電感耦合等離子體光譜儀組件立即以甲醇或乙醇洗干凈，烘干，放入干燥器中。
注：各組件用后歸還原位，及時做好實驗室清潔衛生。
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