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氣浮運(yùn)動臺介紹(一)

來源:北京瑞邦精控科技有限公司   2022年11月04日 10:04  

氣浮運(yùn)動臺是有氣浮導(dǎo)軌構(gòu)成的精密運(yùn)動臺。在常見的設(shè)備中,經(jīng)常看到一些運(yùn)動裝置,按驅(qū)動方式分為步進(jìn)電機(jī)、伺服旋轉(zhuǎn)電機(jī)、直線電機(jī)、音圈電機(jī)及壓電陶瓷電機(jī)等;按導(dǎo)軌導(dǎo)向分類為機(jī)械導(dǎo)軌(摩擦式)和氣浮導(dǎo)軌,其中光刻機(jī)用的磁懸浮也為非接觸式,但成本相當(dāng)昂貴;按反饋形式分為開環(huán)、半閉環(huán)和閉環(huán),步進(jìn)電機(jī)為開環(huán),伺服電機(jī)為半閉環(huán),直線電機(jī)驅(qū)動并搭配光柵尺行程閉環(huán)反饋。

根據(jù)應(yīng)用,精度等級不同,所以選用不同的運(yùn)動裝置。以下是大致介紹:

步進(jìn)電機(jī)加精密絲桿驅(qū)動,機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向,為開環(huán)運(yùn)動裝置,按脈沖的個數(shù)移動,100mm行程精度在50μm-100μm,應(yīng)用在低精度行業(yè)應(yīng)用。

伺服電機(jī)加精密絲桿驅(qū)動,機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向,為半閉環(huán)運(yùn)動裝置(通過伺服電機(jī)后的原編碼器反饋,不能監(jiān)測工件移動的位置),精度在20-30μm。行業(yè)內(nèi)也可以移動工件的編碼加光柵尺做閉環(huán)反饋,精度能做到5-10μm,絲桿和聯(lián)軸器有反向間隙,所以精度做不高,同時絲桿的螺距,致使空載的速度在300mm/s以內(nèi)。增大絲桿螺距提升速度,但又犧牲精準(zhǔn)度。

氣浮運(yùn)動臺采用直驅(qū)電機(jī)(直線電機(jī)和直驅(qū)力矩電機(jī))作為直接驅(qū)動方式,在行業(yè)得到了認(rèn)可。電機(jī)的動子直接連接負(fù)載板,通過機(jī)械導(dǎo)軌導(dǎo)向,中間無任何傳動裝置,速度可高達(dá)2m/s100mm行程精度在1-2μm,同時也可以搭配氣浮導(dǎo)軌導(dǎo)向,獲取更高的亞微米級別精度。

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