*半導體應用的原位過程控制
上海伯東日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超緊湊型質譜儀, 適用于*半導體工藝(如沉積和蝕刻)所需的定量氣體分析.
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Aston™ 質譜儀解決了關鍵的原位計量問題
• 提高吞吐量: 端點檢測而不是基于時間的流程
• 提高產量: 以十億分之一的靈敏度測量沉積和蝕刻工藝期間的工藝氣體 / 副產物
Aston™ 質譜儀*工藝的優勢
ppb 級靈敏度的高速采樣
非常適合高縱橫比的 3D 結構
耐腐蝕性氣體
堅固緊湊
易于集成到工具平臺中
沉積應用中: 實時過程氣體監控,以驅動自動化工具調整以實現過程控制, 沉積步驟之間的終點檢測, 實現層的化學計量工程
蝕刻應用中: 以 ppb 為單位測量的工藝氣體和副產品, 啟用端點腔室清潔
Atonarp Aston™ 技術參數
類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
型號 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
質量分離 | 四級桿 | |||||
真空系統 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
檢測器 | FC /SEM | |||||
質量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
檢測限 | 0.1 PPM | |||||
工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
功率 | 350 W | |||||
重量 | 15 kg | |||||
尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
Aston™ 質譜儀半導體制造應用
*的工藝 Sub-fab 安全性, 可持續性和節省優化 | 沉積
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若您需要進一步的了解 Atonarp Aston™ 在線質譜分析儀詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 羅先生
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