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掃描電鏡是大型精密分析儀器，結(jié)構(gòu)原理復(fù)雜，是電子光學(xué)，高真空系統(tǒng)，精密機(jī)械，電氣控制，計(jì)算機(jī)應(yīng)用緊密結(jié)合的技術(shù)密集型產(chǎn)品。
工作原理：通過(guò)光柵掃描技術(shù)來(lái)產(chǎn)生標(biāo)本的放大圖像。它引導(dǎo)聚焦的電子束穿過(guò)樣品的矩形區(qū)域，當(dāng)電子束通過(guò)時(shí)會(huì)產(chǎn)生能量損失。該能量會(huì)被轉(zhuǎn)換成熱、光、二次電子等能量同時(shí)反向散射電子。此時(shí)通過(guò)軟件系統(tǒng)進(jìn)行翻譯轉(zhuǎn)換后得到清晰的標(biāo)本圖像信息。從成像原理分析，掃描電子顯微鏡的分辨率會(huì)比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢(shì)在于可以利用表面處理，創(chuàng)建大樣本的圖像，尺寸可達(dá)幾厘米，并且具有較大的景深。因此，來(lái)自 SEM 的圖像可以較好地表達(dá)樣品的真實(shí)形狀。
工作原理：通過(guò)光柵掃描技術(shù)來(lái)產(chǎn)生標(biāo)本的放大圖像。它引導(dǎo)聚焦的電子束穿過(guò)樣品的矩形區(qū)域，當(dāng)電子束通過(guò)時(shí)會(huì)產(chǎn)生能量損失。該能量會(huì)被轉(zhuǎn)換成熱、光、二次電子等能量同時(shí)反向散射電子。此時(shí)通過(guò)軟件系統(tǒng)進(jìn)行翻譯轉(zhuǎn)換后得到清晰的標(biāo)本圖像信息。從成像原理分析，掃描電子顯微鏡的分辨率會(huì)比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢(shì)在于可以利用表面處理，創(chuàng)建大樣本的圖像，尺寸可達(dá)幾厘米，并且具有較大的景深。因此，來(lái)自 SEM 的圖像可以較好地表達(dá)樣品的真實(shí)形狀。
日立S-3400N掃描電鏡改進(jìn)了S-3000N的設(shè)計(jì)，在不需要金屬涂層或其它復(fù)雜的樣品制備技術(shù)條件下，此款產(chǎn)品滿足了用戶對(duì)于含水，含油，和不導(dǎo)電樣品的研究需求。在征求用戶的需求后，我們開(kāi)發(fā)出了新的硬件和軟件功能，使之具有更加優(yōu)異的成像性能，更大的樣品尺寸，更好的分析性能，更高的檢測(cè)速度和更簡(jiǎn)單的操作。更好的電子光學(xué)系統(tǒng)，更大的樣品室，更快和更清潔的排氣系統(tǒng)以及*自動(dòng)化的軟件只是S -3400N所具有的多種新功能中的少數(shù)幾個(gè)。新型的渦輪分子泵(TMP)排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使得它不需要使用冷卻水。它可在少于100秒的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行樣品交換，開(kāi)機(jī)6分鐘即可達(dá)到就緒狀態(tài)，耗電僅2.0 kVA。廣泛用于科研、半導(dǎo)體行業(yè)、高等院校、電路板、材料冶金等行業(yè)。
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