5.4.1 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)在確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并應(yīng)接受反饋信號(hào)，特種氣體站房的事故通風(fēng)裝置應(yīng)與其氣體泄漏和氣體切斷信號(hào)聯(lián)鎖。

5.4.2 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置，該聲光報(bào)警應(yīng)有別于火災(zāi)報(bào)警裝置，并應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)應(yīng)急廣播系統(tǒng)。

5.4.3 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏后，應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門(mén)、防火卷簾門(mén)，自動(dòng)釋放門(mén)禁，可聯(lián)動(dòng)閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)，應(yīng)啟動(dòng)相應(yīng)區(qū)域的攝像機(jī)，并應(yīng)自動(dòng)錄像。

5.4.4 地震探測(cè)裝置探測(cè)到里氏5級(jí)以上地震，且兩臺(tái)地震探測(cè)裝置同時(shí)報(bào)警時(shí)，特種氣體管理系統(tǒng)確認(rèn)收到的信號(hào)后，應(yīng)啟動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置;同時(shí)，應(yīng)關(guān)閉氣瓶柜、氣瓶架、閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)的切斷閥門(mén)。

5.4.1 本條規(guī)定在確認(rèn)特種氣體泄漏后，為確保生產(chǎn)車(chē)間和特種氣體系統(tǒng)的安全、應(yīng)采取各項(xiàng)聯(lián)動(dòng)控制，啟動(dòng)顯示、記錄功能。一旦特種氣體泄漏后，切斷閥、事故通風(fēng)裝置與氣體探測(cè)器聯(lián)動(dòng)，自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故通風(fēng)裝置、關(guān)閉切斷閥，切斷氣體來(lái)源。特種氣體站房環(huán)境設(shè)置事故排風(fēng)是因?yàn)樘胤N氣體站房氣體儲(chǔ)存量較大，存在大量氣體進(jìn)人房間的可能，按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019-2015第6.4.1條，對(duì)可能突然放散大量有毒氣體、有爆炸危險(xiǎn)氣體或粉塵的場(chǎng)所，應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)計(jì)要求設(shè)置事故通風(fēng)系統(tǒng)。而在實(shí)踐中，凈化廠房及上、下技術(shù)夾層屬于空調(diào)環(huán)境，且空間較大、循環(huán)風(fēng)量較大，且相對(duì)氣體量較小，為此，通常不考慮設(shè)計(jì)事故通風(fēng)。
5.4.2 為了保護(hù)人員的生命安全，本條規(guī)定當(dāng)氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，應(yīng)啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置，提醒作用人員采取應(yīng)急措施和迅速離開(kāi)事故現(xiàn)場(chǎng)。
5.4.3 為保障生命安全，在氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，本條規(guī)定通過(guò)氣體報(bào)警系統(tǒng)或廠務(wù)設(shè)備管理和控制系統(tǒng)(FMCS)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)與安全逃生有關(guān)的通道部位，主要有關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門(mén)、防火卷簾門(mén)，自動(dòng)釋放門(mén)禁門(mén)，可聯(lián)動(dòng)閉路電視監(jiān)控(CCTV)系統(tǒng)，喚醒、啟動(dòng)相應(yīng)區(qū)域的攝像機(jī)，進(jìn)人連續(xù)錄像，保留證據(jù)。
5.4.4 為了保護(hù)人員的生命安全，并考慮工廠生產(chǎn)不會(huì)因?yàn)榈卣饍x的誤動(dòng)作造成不必要的恐慌而影響生產(chǎn)，本條規(guī)定只有當(dāng)兩臺(tái)地震探測(cè)裝置同時(shí)報(bào)警時(shí)，才應(yīng)啟動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置。

5.4.5 本條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。本條規(guī)定室外大宗硅烷系統(tǒng)與室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)探測(cè)器的布置原則，規(guī)定室外大宗硅烷系統(tǒng)必須設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器，室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置火焰探測(cè)器或感溫探測(cè)器，目的是為了發(fā)現(xiàn)早期微量火焰，及早報(bào)警并關(guān)閉氣體供應(yīng)系統(tǒng)，杜絕危險(xiǎn)環(huán)境擴(kuò)大，保護(hù)人員與財(cái)產(chǎn)安全。由于室外環(huán)境多變，溫度、濕度隨季節(jié)變化，規(guī)定設(shè)置環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)的紫外、紅外探測(cè)器，室內(nèi)環(huán)境相對(duì)固定，為增加探測(cè)器的選擇范圍，規(guī)定設(shè)置火焰探測(cè)器或感溫探測(cè)器，這種規(guī)定也是國(guó)內(nèi)電子工廠目前普遍的做法。美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.2(火焰?zhèn)蓽y(cè))條、11.2.1(室外系統(tǒng))條、11.2.2(室內(nèi)系統(tǒng))條也做了規(guī)定，上述條款摘錄如下：
    11.2.1 室外 系 統(tǒng) ， 當(dāng)硅烷輸送系統(tǒng)布置在室外時(shí)，應(yīng)布置經(jīng)核準(zhǔn)用于硅烷的火焰探測(cè)系統(tǒng)用于潛在的硅烷泄漏區(qū)域的火焰?zhèn)蓽y(cè)，如硅烷瓶支撐架、硅烷集裝瓶組、ISO瓶組、工藝和吹掃氣體盤(pán)。用于室外的偵測(cè)器應(yīng)符合硅烷室外條件和經(jīng)過(guò)不受太陽(yáng)光、電弧焊、人工區(qū)域照明，或偏離使偵測(cè)器誤動(dòng)作的紫外或紅外光源的測(cè)試。
    11.2.2 室內(nèi)系統(tǒng)，當(dāng)硅烷輸送系統(tǒng)布置在室內(nèi)房間或區(qū)域時(shí)，火焰?zhèn)蓽y(cè)系統(tǒng)應(yīng)適用于硅烷，火焰?zhèn)蓽y(cè)器按照11.2.2.1、11.2.2.2和11.2.3或酌情進(jìn)行設(shè)置，用于室內(nèi)的偵測(cè)器應(yīng)經(jīng)過(guò)不受太陽(yáng)光、電弧焊、人工區(qū)域照明，或偏離使偵測(cè)器誤動(dòng)作的紫外或紅外光源的測(cè)試。