日本鏡面平板基材表面缺陷檢測技術介紹
表面缺陷檢測設備(一般)
應用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理,達成實時檢測鏡面平板基材表面狀態的裝置。受各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查,以及免維護的光學系統根據選配,可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。
非接觸、非破壞性的檢查,以及免維護的光學系統根據選配,可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運裝置、影像儲存、影像列印等功能。
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即時顯示所有表面狀態。
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光學系統對應等級1
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光學系統無須維護。
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根據檢測內容,可修正檢測靈敏度。
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檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
檢測內容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換(標準設備) |
檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續調整 |
使用光源 | 550nm (固定照度之穩定光源) |
鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
平臺 | 手動平臺(標準設備) |
用途
鏡面晶圓的表面檢測 |
滑線檢測 |
玻璃基板檢測 |
其他鏡面基板檢測 |
選配
電動馬達檢測平移臺 |
自動判定缺陷影像處理裝置 |
影像列印機 |
搬運裝置 |
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※ 可以隨時在敝公司內展示。
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※ 可將樣品寄送過來,之后我們再將影像結果回寄。
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