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在各種氣體分析儀器當中，氧氣分析儀是非常重要的一大類。氧分析儀對氣體生產和氣體應用有著非常重要的作用。氧氣分析儀是一種工業過程分析儀表，主要用于各種工業過程混合氣體中氧含量檢測。多應用于石油、空分、化工流程、磁性材料、高溫燒結爐保護氣體、電子行業保護性氣體以及玻璃、建材行業等行業。一般來說，氧氣分析儀根據工作原理及應用范圍的不同而分成四個類別，即磁式，氧化鋯式，燃料池式及庫侖式。由于不同種氧分析儀工作原理不同，性能也不同，適用于不同的場合。
氧氣分析儀使用 LED 通過光纖電纜沿傳感器向下發射藍光。傳感器包含吸收能量并上升到激發態的發光體。在沒有氧氣的情況下，被激發的發光體將以特定速率回落到其基態，并在此過程中發出紅移光，該光通過光纜傳輸到分析儀(光譜儀)，在那里它被光電倍增管檢測到。當存在氧氣時，它會以與氧氣濃度成正比的速率淬滅熒光。測量激發源和熒光信號之間的相移并計算氧濃度。
零點校準：在儀器開機半小時后，通入零點標準氣(一般是99.999%的氮氣)。等待十分鐘后查看顯示屏上的“含氧量指示”，如果在誤差以外需要手動修改，通過此氧量分析儀校準方法直到數值達到“標準氣體標稱值”。量程校準也是通量程標準氣(一般是20%左右的氮中氧氣)，誤差很大同樣需修改。
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