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MKS微型對(duì)流計(jì)275507-EU安裝指南

來(lái)源:北京凱盛源科技有限公司   2022年02月28日 14:39  


MKS微型對(duì)流計(jì)275507-EU安裝指南275410-GD-T

安裝方向


為了使模塊在1托以上正常運(yùn)行,請(qǐng)調(diào)整方向


該模塊使軸保持水平。雖然


對(duì)流計(jì)的讀數(shù)將正確低于1托,并帶有


模塊安裝在任何位置,讀數(shù)不準(zhǔn)確


如果模塊軸處于工作狀態(tài),則在壓力高于1托時(shí)會(huì)產(chǎn)生


不是水平的。

建議的安裝方向


將微型對(duì)流器模塊連接到


真空室


將微型對(duì)流器模塊連接至真空吸塵器


使用th的系統(tǒng)法蘭


CEAG 速優(yōu)源品質(zhì)12191020023

SIEMENS 速優(yōu)源品質(zhì)6AV1380-0EH10

VEGA 速優(yōu)源品質(zhì)VVB62.ZZZTGDRKMX 

Siemens 速優(yōu)源品質(zhì)4AM3242-4TN00-0EA0

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