勻膠機(jī)(Spin coater),又稱旋涂?jī)x、甩膠機(jī)或均膠機(jī),是一種常見(jiàn)用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,它的原理是利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面,形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。
勻膠機(jī)是科研工作中制備薄膜材料重要的方法之一,是納米材料、鋰離子電池、半導(dǎo)體制備等領(lǐng)域的研究中的常用設(shè)備。勻膠機(jī)最重要的特征就是均一性和重復(fù)性。均一性就是要求勻膠機(jī)制備出的薄膜厚度均一,薄膜的厚度通常可以采用橢偏儀等精密儀器測(cè)量;重復(fù)性就是要求在不同時(shí)間,采用相同的工藝制備的薄膜特性具有可重復(fù)性,這就要求電機(jī)轉(zhuǎn)速具有精確的控制。除此之外,設(shè)備的內(nèi)腔、管道、外殼是否具有耐腐蝕性能?操作界面是否人性化且方便用戶使用?設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)是否能有效防止意外堵膠?是否具備可擴(kuò)展功能?這些都是衡量一臺(tái)勻膠機(jī)設(shè)備好壞的標(biāo)準(zhǔn)。
目前,市場(chǎng)上一些品牌的勻膠機(jī)只是簡(jiǎn)單具備勻膠功能,不能稱之為合格的勻膠機(jī)設(shè)備。比如,有的勻膠機(jī)還采用旋鈕的方式控制轉(zhuǎn)速,無(wú)法實(shí)現(xiàn)精確控制;有的勻膠機(jī)采用PP材質(zhì)注塑內(nèi)腔,或者以金屬材質(zhì)作為旋涂?jī)?nèi)腔,這些材質(zhì)容易與膠液發(fā)生反應(yīng),不容易清潔;有的勻膠機(jī)不含防堵膠裝置,當(dāng)發(fā)生意外堵膠的時(shí)候,往往維修困難等等,因此用戶在選購(gòu)勻膠機(jī)時(shí),一定要留意這些細(xì)節(jié)。
以赫里科特公司生產(chǎn)的勻膠機(jī)為例,全系列產(chǎn)品均采用觸摸屏加高級(jí)PLC程序控制系統(tǒng),可編程分步運(yùn)行,精確控制,方便易用;內(nèi)腔采用耐腐蝕HDPE材質(zhì),采用CNC一體化加工成型,內(nèi)腔內(nèi)壁呈凹面,有效防止膠液回濺,避免回濺顆粒影響成膜質(zhì)量,這與采用PP材質(zhì)注塑內(nèi)腔或金屬盆內(nèi)腔有明顯優(yōu)勢(shì);因應(yīng)酸堿等腐蝕性環(huán)境,赫里科特(Helicoater)全系勻膠機(jī)設(shè)備均采用不銹鋼外殼,堅(jiān)固耐用;內(nèi)部結(jié)構(gòu)專門設(shè)計(jì)有儲(chǔ)液腔,有效防止意外吸膠導(dǎo)致器件損壞,方便維修,延長(zhǎng)使用壽命;帶有真空安全檢測(cè)和蓋子安全檢測(cè)裝置;考慮到有時(shí)需要自動(dòng)點(diǎn)膠裝置,部分型號(hào)還帶有可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠的接口,滿足升級(jí)需求;如果需要放置在手套箱內(nèi)使用,可以選擇緊湊型設(shè)計(jì)的型號(hào);如果有大尺寸樣品旋涂,可以選擇大尺寸型號(hào)。
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