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干式渦旋真空泵相關(guān)技術(shù)和安全使用問答

來源:東莞市品雅真空設(shè)備有限公司   2021年08月20日 10:12  

Q:渦旋干式真空泵使用注意事項(xiàng)?

A:◇渦旋干式真空設(shè)計用于抽大氣。所以不要用此泵抽特殊氣體、含國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。

◇檢查確定此真空泵安全接地。

◇此泵工作過程中或剛停機(jī)時不要接觸泵電機(jī)或金屬部件(因?yàn)楣ぷ鲿r很熱,最高可能達(dá)到70℃)。如確實(shí)需要接觸,采取必要防護(hù)措施防止受傷。

◇未加風(fēng)扇蓋前,不要啟動泵。
◇泵工作條件要求:環(huán)境溫度5~35℃。如果超過35℃,可能引起泵或電機(jī)性能下降。

◇渦旋干式真空泵必須與設(shè)計規(guī)定電源連接。

◇必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。


Q:渦旋干式真空泵電機(jī)沒有熱保護(hù)開關(guān),電機(jī)鎖死時不能提供過熱保護(hù)。必須在泵與電源線之間加電機(jī)保護(hù)開關(guān),否則電機(jī)鎖死時可能冒煙甚至起火。

◇移動泵時不要握塑料件,否則塑料件可能破損。

◇不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭,以免損壞法蘭口,導(dǎo)致真空度上不去。

如果真空度上不去,更換法蘭。

◇在進(jìn)氣口處裝真空閥。

真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低,是因?yàn)榕艢饪谔幍拇髿夥抵吝M(jìn)氣口處,不是真空泵的原因。如要保證真空室內(nèi)的真空度,要在真空室與泵之間安裝真空閥。

◇排氣口處要接排氣管,以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。 


Q:渦旋干式真空泵加氣鎮(zhèn)閥時注意事項(xiàng)?

A:加氣鎮(zhèn)閥主要是為了抽包括水蒸氣在內(nèi)的特殊氣體,保證泵的良好抽氣性能。使用渦旋干式真空泵時,除上述注意事項(xiàng)外,還要注意:

◇不要用此泵抽腐蝕性氣體
此泵只能抽空氣、氮?dú)夂退魵狻2灰么吮贸楦g性氣體,如有機(jī)溶劑、高濃度半導(dǎo)體工藝用氣體、高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體等。這些氣體容易使軸承失效。

◇被抽氣體水蒸氣含量必須少于要求值。如果超過此極限,將縮短氣鎮(zhèn)閥壽命

◇加濾網(wǎng)

使用氣鎮(zhèn)閥時,必須加濾網(wǎng)。否則可能抽進(jìn)灰塵。

◇定期檢查

為了泵正常工作,要對濾網(wǎng)進(jìn)行定期檢查。否則氣鎮(zhèn)閥不能正常工作。

◇供氣

要保證加適量的氣體使泵高效率工作。


Q:渦旋干式真空泵安裝地點(diǎn)要求?

A:渦旋干式真空泵的安裝應(yīng)滿足下述要求:

①平面放置

②避免陽光直射

③環(huán)境溫度5~35 ℃;濕度90%,或沒有結(jié)露

④通風(fēng)良好

⑤泵附近不得存放化學(xué)品或易燃品

⑥防潮

⑦泵周圍環(huán)境易于對泵進(jìn)行清理檢驗(yàn)。

 

Q:渦旋干式真空泵與電源連接的注意事項(xiàng)?

A:◇檢查確認(rèn)此泵電源接地良好。

◇檢查確認(rèn)此泵電源為要求值。

◇在此泵與真空室之間安裝保護(hù)開關(guān)。

 

Q:渦旋干式真空泵與電源連接步驟?

A:①打開電機(jī)接線盒,將電源線與接線柱連接。

②電源線應(yīng)當(dāng)為達(dá)到或超過直徑1.25毫米四芯電纜。具體參見使用說明書。

③有的渦旋干式真空泵電機(jī)內(nèi)部無熱保護(hù)器,一定要安裝保護(hù)開關(guān),推薦為額定電流低于10A。具體參見使用說明書。

④確認(rèn)此泵從電機(jī)方向看順時針方向轉(zhuǎn)動。打開進(jìn)氣與排氣口。打開電機(jī)開關(guān)起動電機(jī)2-3秒。檢查確定進(jìn)氣口抽氣。如果電源線連接錯誤,將從排氣口進(jìn)氣。

 

Q:渦旋干式真空泵排氣注意事項(xiàng)?

A:◇渦旋干式真空設(shè)計用于抽大氣不要用此泵抽特殊氣體、含國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。

◇不要用此泵抽灰塵。抽灰塵時,一定加濾網(wǎng)。

◇不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭

以免損壞法蘭口,導(dǎo)致真空度上不去。如果真空度上不去,更換法蘭。

◇在進(jìn)氣口裝進(jìn)氣閥


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