(1)廢氣濃度的影響：UV光催化治理VOCs合適的使用規模主要包含噴涂車間、印刷、電子、制藥、食品等行業發生的低濃度有機廢氣，關于20.200PPM以下的濃度作用較好，跟著VOCs濃度增高，降解功率也會隨之下降。現在廣泛選用的是185nm和254nm兩個波段的真空紫外燈，這是因為真空紫外燈發射的紫外線能量強度有限，單位時間內光解能量不足，功率下降。所以單純的添加燈管的數量是無法解決高濃度有機氣體問題，紫外光解技能不合適中高濃度VOCs氣體。

(2)相對濕度低的影響：關于必定的濕度條件下，氧氣吸收了大部分185nm紫外光，可是跟著濕度的進一步添加，一部分是水蒸氣與氧氣競賽吸收185nm波長的紫外光，水蒸氣吸收了更多的185nm紫外光，一起發生更多羥基自由基。水蒸氣與活性氧反響生成羥基自由基，羥基自由基的氧化性要強于臭氧和活性氧，然后光解的速度顯著加速，促進單位時間內關于廢氣去除率的添加，試驗證明相對濕度在30—65%這個規模，光解功率是上升的，相對濕度超越70%后隨之逐步下降。

(3)風速和濕度差的影響：大量試驗證明風速越大，水蒸氣進出口的濕度差越小，這也就是說風速越大，羥基自由基發生量的值也會越少。因而在風速小的工況下，羥基自由基對揮發性有機物VOCs的奉獻大，風速大的工況下，羥基自由基對有機物降解的作用就會變得十分有限。在設備測試中，風速在低于2m/s的時分，反響作用好，大于6m/s的時分，水蒸氣進出口的濕度差十分小，光催化功率極低。在必定的設備空間內，風速一起影響了停留時間，一般停留時間添加，廢氣的去除功率有顯著增高。原因是停留時間添加，185nm紫外光和有機物碰撞次數必定添加。當停留時間達到10s后，延長停留時間，廢氣的降解功率添加并不顯著。所以在低濃度下，延長停留時間并不能等效的添加廢氣去除功率。

(4)光源的挑選和影響：現在，一般挑選185rim和254nm兩個波段的真空紫外燈，市場上的uV燈管質量良莠不齊，真空紫外設備進口的風速影響了紫外燈的燈管表面溫度，燈管表面溫度與紫外燈的發光功率有直接關系，燈表溫高于某一數值時會直接影響其發光功率。風速增大，臭氧濃度下降，臭氧發生量沒有顯著變化，說明在3m/s時真空紫外現已被空氣中氧氣充沛吸收，增大空氣進氣量，燈管本身發生的臭氧量沒有顯著添加。臭氧與甲苯在天然狀態下是不發生化學反響的。臭氧協同真空紫外光對許多有機廢氣是有降解作用的。254nm的紫外光能夠促進臭氧發生氧自由基，然后氧化廢氣分子，臭氧在真空紫外條件下與空氣中的水蒸氣可發生羥基自由基，羥基自由基可氧化甲苯等廢氣。

(5)合理的設備空間布局和結構：關于凈化設備的制作也有一些問題要注意，現在UV光催化治理VOCs設備的自動化程度低，根本還沒有自動檢測和監控功用，所以對產品的全體作用不能夠進行有效的功率評估。要合理的處理好催化劑的安置、數量，要處理好透光性和氣體的流速，要進行合理的能量匹配和結構優化，不然，許多設備的有效去除率是遠遠不夠的。