產(chǎn)品概述:
本儀器系統(tǒng)由:電磁鐵、高精度電源、高斯計、高精度恒流源、高精度電壓表、 霍爾探頭、電纜、標(biāo)準(zhǔn)樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專門研制的 JH10 效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍耳測量復(fù)雜的切矩陣開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。JH10 可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。
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技術(shù)指標(biāo):
* 磁 場: 間距 10mm 情況下 10700 高斯, 間距 20mm 情況下 7000 高斯。
* 樣品電流:50nA~50mA(小可調(diào)節(jié)電流為 0.1nA)
* 測量電壓:0.1uV~30V
* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料,各級別霍爾器件(靈敏度與精度不同)
* 小分辨率: 1GS
* 磁場范圍:0-±1T
* 配合高斯計或數(shù)采板可與計算機(jī)通訊
* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等 ▲ 電阻率范圍:10-7~1012 Ohm*cm
* 電阻范圍:10 m Ohms~ 6MOhms
* 載流子濃度:103~1023cm-3
* 遷移率:0.1~108cm2/volt*sec
* 測試全自動化,一鍵處理
* 專業(yè)的歐姆接觸組合套件
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自動化霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)組成:
高精度度磁鐵電源:
※ 雙極性恒流輸出
① 電源輸出電流可在正負(fù)額定大電流之間連續(xù)變化
② 電流可以平滑過零點,非開關(guān)換向
③ 輸出電流、電壓四象限工作(適合感性負(fù)載)
④ 電流變化速率可設(shè)置范圍為 0.0007~0.3 F.S./s(F.S.為額定大輸出電流)
※ 電流穩(wěn)定度高,紋波低
①電流穩(wěn)定度:優(yōu)于±25ppm/h(標(biāo)準(zhǔn)型);優(yōu) 于±5ppm/h(高穩(wěn)型) ② 電流準(zhǔn)確度:±(0.01%設(shè)定值+1mA) ③ 電流分辨率:20 bit,例 15A 電源,電流分辨率為 0.03mA
④ 源效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在供電電壓變化 10%時,輸出電流變化量)
⑤ 負(fù)載效應(yīng):≤ 2.0×10-5 F.S.(在負(fù)載變化 10%時,輸出電流變化量)
⑥ 電流紋波(RMS):小于 1mA
霍爾樣品架:
用于固定,焊接霍爾器件,四探針壓點使接觸更方便牢。高高精度高斯計:分辨力:0.01Gs,量程:0-±3T,精度:0.1% ,標(biāo)準(zhǔn) 232 數(shù)字接口與控制端口。
電壓電流數(shù)采儀:
恒流源量程:±50nA-±50mA,分辨力 0.1nA 在量程范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),高 精 度 電 壓 數(shù) 采 儀 范 圍 0. 1uV-30V,精度:.01%內(nèi)置測試矩陣轉(zhuǎn)換卡,
電磁鐵:
極頭直徑 50mm.NS間距10mm時大磁場 1.07T,間距 20mm 時大磁場 0.7T,可實現(xiàn)在大磁場范圍內(nèi)連續(xù),變化(可調(diào))自重 30 公斤。
歐姆接觸套件 :
專業(yè)做歐姆接觸用銦片以及相,應(yīng)焊接套裝,材料標(biāo)準(zhǔn)樣片,硅片,砷化鎵 2 阻值:300-500 歐姆。
測試系統(tǒng)軟件:
定位采集,數(shù)字溫度顯示, I-V,曲線及 I-R 曲線測量,得到體載,流子濃度等各類參數(shù)曲線圖形。
可測試材料:
半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料, 低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料, 高阻抗材料:半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等
樣品測試:
設(shè)置控制電流、磁場和霍爾片厚度,點擊“開始測試”按鈕,軟件將完成一鍵測試過程,直至計算出所有霍爾參數(shù)。每次測試完后,可選擇保存該計算結(jié)果值,然后點擊“清除顯示”按鈕,以進(jìn)入下一次測試。
若保持磁場大小不變,改變控制電流的大小,可通過畫圖操作觀察 Is 與 VH的關(guān)系;若保持控制電流大小不變,改變磁場的大小,可通過畫圖觀察 B 與 VH 的關(guān)系。
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