1、總論
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),定義是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點。例如,在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
學術用語:光柵尺位移傳感器 常用名:光柵尺 英文名:Linear Scale 原理:莫爾條紋
2、工作原理
1874年,英國物理學家瑞利首先揭示出了莫爾條紋圖案的科學和工程價值,指出了借觀察莫爾條紋的移動來測量光柵相對位移的可能性,為在物理光柵的基礎上發展出計量光柵的分支奠定了理論基礎。
莫爾條紋是光柵位移精密測量的基礎,在實際應用中由兩個空間頻率相近的周期性光柵圖形疊加而形成的光學條紋就是莫爾條紋,可以由遮光效應、衍射效應和干涉效應等多種原理產生。莫爾條紋的科學含義是指兩個周期性結構圖案重疊時所產生的差頻或拍頻圖案,例如兩個周期相同的光柵以一個小角度相互傾斜重疊后所產生的莫爾條紋,如圖所示。
現代光柵是用精密的刻畫機在玻璃或金屬片上刻劃而成的,光柵相鄰刻劃之間的距離稱為光柵柵距,亦稱光柵節距或光柵常數,光柵柵距是位移測量的基準。
莫爾條紋應用廣泛的領域是光柵位移測量,根據莫爾條紋原理可以實現直線位移和角位移的靜態、動態測量,基于莫爾條紋數量與位移的關系實現精密位移測量,能夠滿足接觸、非接觸、小量程、大量程、一維、多維等各種需求的測量與控制反饋,廣泛應用在程控、數控機床和三坐標測量機、精密測量與定位、超精密加工、微電子IC制造、地震預測、質量檢測、納米材料、機器人、MEMS、振動檢測等眾多領域。
3、結構
光柵尺是由主光柵和副光柵兩部分組成。主光柵一般固定在機床固定部件上,副光柵(指示光柵)固定在讀數頭上,裝在機床活動部件上。下圖所示的就是光柵尺的結構。
光柵尺的關鍵部分是光柵讀數頭,它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多,根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭。
4、光柵尺的用途
在現在中國加工業、制造業越來越成熟,對加工的精度越來越高的時候,在各種機床上,例如:銑床、磨床、車床、線切割、電火花等機床上都可以安裝光柵尺,其工作環境要求相對來說不是很苛刻,對操作者的使用來說也十分簡單。
5、光柵尺的分類
光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
透射光柵指的光源與接收裝置分別放置在光柵尺的兩側,通過接收光柵尺透過來的衍射光變化來反應位置變化。比較通用的是玻璃光柵。反射光柵指的是光源與接收裝置安裝在光柵尺的同一側,通過接收光柵尺反射回來的衍射光變化來反應位置變化。比較通用的有鋼帶光柵和玻璃光柵。
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