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德國馬爾激光共聚焦顯微鏡（光學輪廓儀）技術參數
1. 測量原理：非接觸，激光共聚焦
2. 掃描模塊：
2.1 XY方向測量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可選）,馬達驅動
2.2 XY方向平臺分辨率0.5um
2.3 Z方向位移范圍100mm
2.4 大測量速度50mm/S.
3. 傳感器模塊
3.1 共聚焦傳感器，激光光源1.5 μm spot size，1 kHz data rate
3.2 Z方向分辨率0,02um
3.3 XY方向分辨率1um，可連續一次掃描成像，大范圍達到200mmX200mm
3.4 工作距離 4mm
3.5 Z方向測量范圍1mm
4 系統配置
4.1 計算機：高性能計算機控制系統；
4.2 配有專業工作臺， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm)
4.3 可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X)，大視野8 x 6 mm2
4.4 功能全面的軟件
4.5 數據分析：輪廓測量、寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數據分析
德國馬爾Mahr表面三維形貌光學輪廓儀介紹， 請向武漢科賽思索取更詳盡資料！
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