系統(tǒng)設(shè)備管道防腐處理 
臭氧氣體具有很強的腐蝕性，在潮濕情況下腐蝕性很強。因此，臭氧發(fā)生設(shè)備輸送臭氧的管道閥門及接觸反應(yīng)設(shè)備均采取防腐措施。如使用碳鋼材料必須涂防腐涂層。使用不銹鋼管，玻璃鋼管，ABS、PVC、PP-R 塑料管等。接觸池在使用鋼筋混凝土材料時應(yīng)加防腐涂層。一般橡膠不耐臭氧氧化，所以臭氧發(fā)生設(shè)備間的電線，電纜等均不能使用橡膠包裹的電線，應(yīng)使用塑料電線。

設(shè)置通風(fēng)排氣設(shè)備 
臭氧具有毒性，空氣中臭氧濃度達(dá)到 0.1mg/m3 時就對人的眼睛、鼻、喉及呼吸道產(chǎn)生刺激作用在 0.01-0.02mg /m3 時可聞到臭味；因此在臭氧設(shè)備間應(yīng)設(shè)置通風(fēng)設(shè)備，萬一發(fā)生泄漏可及時排出臭氧。臭氧比空氣重，通風(fēng)機應(yīng)安裝在靠近地面處。
臭氧輸送管道及臭氧設(shè)備必須密閉，防止泄漏。 在設(shè)備運行之前應(yīng)檢查是否漏氣，運行中一旦發(fā)生泄漏應(yīng)立即關(guān)掉臭氧發(fā)生器電源，打開排風(fēng)扇排出臭氧，再進行檢修。 
臭氧發(fā)生器為高壓放電設(shè)備，應(yīng)設(shè)置接地裝置，接地電阻應(yīng)小于4 歐姆。操作應(yīng)嚴(yán)格按照設(shè)備使用說明書及有關(guān)電器使用要求進行。 
必須設(shè)置尾氣處理或尾氣回收裝置，反應(yīng)后排出的臭氧尾氣必須經(jīng)過分解破壞或回收利用，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，否則將污染大氣。