無氧化烘箱在工作時(shí)，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無氧烤箱箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺(tái)設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。
      智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程、設(shè)備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設(shè)備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的動(dòng)態(tài)監(jiān)控與管理；實(shí)現(xiàn)智能設(shè)備、機(jī)器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對(duì)話，實(shí)現(xiàn)人機(jī)、機(jī)機(jī)互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動(dòng)化生產(chǎn)等。