質譜儀是進行質譜分析的儀器，按應用范圍分為同位素質譜儀、有機質譜儀和無機質譜儀。

1、同位素質譜儀
同位素質譜分析法的特點是測試速度快，結果，樣品用量少(微克量級)。能測定元素的同位素比值。廣泛用于核科學，地質年代測定，同位素稀釋質譜分析，同位素示蹤分析。

2、有機質譜儀
分為四極桿質譜儀、離子阱質譜儀、飛行時間質譜儀和磁質譜儀等。
基本工作原理：以電子轟擊或其他的方式使被測物質離子化，形成各種質荷比（m/e）的離子，然后利用電磁學原理使離子按不同的質荷比分離并測量各種離子的強度，從而確定被測物質的分子量和結構。 
有機質譜儀主要用于有機化合物的結構鑒定，它能提供化合物的分子量、元素組成以及官能團等結構信息。可廣泛用于有機化學、生物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和公安工作等特種分析方面。

3、無機質譜儀
分為火花源質譜儀、離子探針質譜儀、激光探針質譜儀、輝光放電質譜儀、電感耦合等離子體質譜儀。
無機質譜儀與有機質譜儀工作原理不同的是物質離子化的方式不一樣，無機質譜儀是以電感耦合高頻放電(ICP)或其他的方式使被測物質離子化。 
無機質譜儀主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面。廣泛用于地質學、礦物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和公安工作等特種分析方面。