測量前，首先確保待測表面干凈無污染。
表面阻抗
1 、平行探頭阻抗測量法(Parallel Probe ResistivityMethod)
平行探頭阻抗測量法是符合EOS/ESD－S11.11－1993標準的測量方法，這是一種快速的測量平面均勻材料電阻值的方法。這種方法也適合于多層材料的測量，但是在阻抗值報告中必須注明測量時的溫度和濕度條件。 A 、將表放在待測量的物體表面。
B、將開關調到所需的電壓位置(10伏或100伏)
C、以大約5磅的壓力持續按下測量按鈕，此時LCD屏會顯示出測量的表面阻抗，溫度和相對濕度值，整個測量過程大約為十五秒種。
·表面阻抗單位為歐姆/□
·溫度單位為攝式
·相對濕度單位為百分比
在每次測量中，按下測量按鈕后，測試儀將連續顯示修整測量值，松開按鈕后約四十五秒內，顯示的是zui后一個測量值。
2 、同心環探頭阻抗測量法（Concentric Ring Probe Resistivitymethod）（同心環探頭為選購件）
將連線插頭插入表的兩個 3.5毫米插孔，并將香蕉插頭與同心環探頭 (選購件)相聯。將探頭放在待測試物體表面后，按下按鈕約15秒鐘后，在液晶顯示屏上將顯示出正確的溫度和相對濕度，正確的表面阻抗值為液晶顯示屏上的讀數乘以 10，單位為歐姆/□。 例如：
晶屏上顯示為3.5×10 4 歐姆/□；實際阻抗值為3.5×10 5 歐姆/□。
二、表面電阻測量（點對點） (Surface ResistanceMeasurement （RTT）)
這個測量方法是符合EOS/ESD-S4.1測量要求來測量獨立于接地的兩點之間的電阻，用這個測量方法得出的測量結果與被測物體的處理、兩個5磅探頭之間的距離等因素有關，因此，應選擇正確的測量規程，每次在同樣要求的測量條件下進行測試。 A 、將連線插頭插入表的兩個3.5毫米插孔，并將香蕉插頭與兩個5磅重探頭相聯。
B、按照測量規程將兩個探頭放置在待測物體表面。
C、選擇所需的電壓值(10伏或100伏)
D、按下開關直到顯示出所選的電壓值(10伏或100伏)，繼續按著開關直至所測電阻（單位為歐 姆），相對濕度和溫度顯示在液晶顯示屏上。
電阻測量
這個測量方法是用于測量物體表面一點與表面上另一接地點之間的表面電阻，測量方法符合EOS/ESD S4.1測量標準。
A 、將兩條連線的一端分別插入表的兩個3.5毫米插孔，然后將其中一條接鱷魚夾，另外一條與一個5磅重盤形探頭相聯。
B、將鱷魚夾子接到所知的接地點上，按照測量要求將盤形探頭放在待測物體表面上。
C、按下測量按鈕直至電阻（單位為歐姆）、相對濕度、溫度值顯示在顯示屏上，測量結果符合EIA，EOS/ESD，ANSI， IEC-93,CECC,ASTM測量標準，對于高阻抗材料的測量時為保證測得高精度測量結果，需注意不要使兩引線交疊，不要用手接觸探頭，引線和被測物體。
校準步驟
1 、范圍為10 3 到10 12 具有精度1%的阻抗電橋。高精度相對濕度表(Relative Humidity Hygrometer)高精度溫度表(High accuracy Thermometer)
2、打開表蓋，小心切莫損傷電路板上兩條連接電源開關的導線。
3、找到電路板右下方三個校正調節器(Calibration Pots)
4、使表在這一環境條件下起碼1/2小時，取得自平衡后才可開始測試。
5、采用測試儀自帶的連接線一端連接上鱷魚夾，另一端香蕉插頭。
6、將3.5毫米長的插頭插入表的插口。
7、用鱷魚夾連接電阻器兩端。
8、三個校正調節器，zui上面的為“濕度”測量，中間的為“阻抗”，zui下面的為“溫度用小號螺絲刀調節”。順時針方向為增加值調節，逆時針方向為降低值調節。
9、按下電源開關，同時比較“溫度”，“濕度”和“電阻”值。
10、釋放電源開關，并慢慢調節相應的校正調節器。
11、再次按下電源開關，觀察LCD顯示屏。
12、如需要再校準，可再按下電源開關和調節校正器。
13、蓋上表蓋并將四個固定螺絲上緊。
14、按下電源開關確定表是否工作正常。
電阻測試儀使用方法
1）熟讀接地電阻測量儀的使用說明書，應全面了解儀器的結構、性能及使用方法。
2）備齊測量時所必須的工具及全部儀器附件，并將儀器和接地探針擦拭干凈，特別是接地探針，一定要將其表面影響導電能力的污垢及銹漬清理干凈。
3）將接地干線與接地體的連接點或接地干線上所有接地支線的連接點斷開，使接地體脫離任何連接關系成為獨立體。
1）將兩個接地探針沿接地體輻射方向分別插入距接地體20m、40m的地下，插人深度為400mm，如下圖所示。
接地電阻測試使用圖解：
a）實際操作
b）等效原理
2）將接地電阻測量儀平放于接地體附近，并進行接線，接線方法如下：
①用zui短的導線將接地體與接地測量儀的接線端“E1”（三端鈕的測量儀）或與C2、”短接后的公共端（四端鈕的測量儀）相連。
②用zui長的導線將距接地體40m的測量探針（電流探針）與測量儀的接線鈕“C1”相連。
③用余下的長度居中的導線將距接地體⒛m的測量探針（電位探針）與測量儀的接線端“P1”相連。
3）將測量儀水平放置后，檢查檢流計的指針是否指向中心線，否則調節“零位調整器”使測量儀指針指向中心線。
4）將“倍率標度”（或稱粗調旋鈕）置于zui大倍數，并慢慢地轉動發電機轉柄（指針開始偏移），同時旋動“測量標度盤”（或稱細調旋鈕）使檢流計指針指向中心線。
5）當檢流計的指針接近于平衡時（指針近于中心線）加快搖動轉柄，使其轉速達到120r/min以上，同時調整“測量標度盤”，使指針指向中心線。
6）若“測量標度盤”的讀數過小（小于1）不易讀準確時，說明倍率標度倍數過大。此時應將“倍率標度”置于較小的倍數，重新調整“測量標度盤”使指針指向中心線上并讀出準確讀數。
7）計算測量結果，即R地=“倍率標度”讀數ד測量標度盤”讀數。