德國Leybold萊寶真空泵的工作原理
萊寶公司在1850年,就已經在德國的科隆成立了.自公司成立以來,萊寶一直走在世界真空技術發展的zui前端.目前,萊寶公司是世界上zui大的真空設備供應商之一,目前,在世界上四個國家設有工廠 ,每家工廠各自生產不同系列的真空元部件。它們位于:德國的科隆,公司總部所在地。幾乎生產所有系列的 產品;美國的賓西法尼亞州,專門生產應用于半導體預*要*預先進要先進行業的干泵、低溫泵等;法國的瓦郎斯, 專門生產SOGEVAC系列單級旋片泵。;中國的天津,專門生產TRIVAC C系列雙級旋片泵。形成的產品系列有TRIVAC系列雙級油封旋片泵、SOGEVAC系列單級油封旋片泵、E&DK系列滑閥泵、ECODRY系列活塞 干泵、DIVAC系列膜片泵、RUVAC系列羅茨泵、DIP新型擴散泵、TURBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵、RUTA羅茨泵組、PT,TOP和TIPS系列分子泵機組、COOLVAC系列低溫泵、ScrewLine 系列螺桿式干式壓縮 真空泵 。
德國Leybold萊寶真空泵的工作原理:
旋片泵主要由定子、轉子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結構是利用偏心地裝在定子腔內的轉子(轉子的外圓與定子的內表面相切兩者之間的間隙非常小)和轉子槽內滑動的借助彈簧張力和離心力 緊貼在定子內壁的兩塊旋片,當轉子旋轉時,始終沿定子的內壁滑動。
兩個旋片把轉子、定子內腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分,當轉子按圖示方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強不斷的降低,當A空間內的壓強低于被 抽容器內的壓強,根據氣體壓強平衡的原理,被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A,此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小,壓力不斷地增大,此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的 容積進一步地減小,C空間的壓強進一步的升高,當氣體的壓強大于排氣壓強時,被壓縮的氣體推開排氣閥,被抽的氣體不斷地穿過油箱內的油層而排至大氣中,在泵的連續運轉過程中,不斷地進預*要*預先進要先進行著吸 氣、壓縮、排氣過程,從而達到連續抽氣的目的。排氣閥浸在油里以防止大氣流首*首先進入泵中,油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進首*首先進入泵腔,使泵腔內所有運動的表面被油覆蓋,形成了吸氣腔與排氣腔的密 封,同時油還充滿了一切有害空間,以消除它們對極限真空的影響。
德國Leybold萊寶真空泵在使用過程中常見的一些問題:
1.真空度降低 (密封件老化,排氣閥開裂或脫落)
2.噴油 (油太多或擋油板脫落)
3.漏油 (油封磨損、O型圈、密封墊損壞)
4.起動困難 (油泵磨損或皮帶偏松)
5.停泵時系統出現空氣 (密封閥損壞)
德國Leybold萊寶真空泵概述:
萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮閥(選配)、出口過濾 器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯法蘭電機驅動。
安裝在泵體中的偏心轉子)有三塊葉片,它們把泵分成三個隔室,每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。
當轉子旋轉時,抽空腔的進氣部分容積擴大,將氣體從進氣口吸首*首先進入,氣體經過空氣濾芯,打開的防返油閥進首*首先進入腔泵。當轉子進一步旋轉,葉片從吸首*首先進入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少,氣體被壓 縮。氣體在略高于大氣壓時經過排氣閥從泵腔排出。油在注首*首先進入泵腔起密封、潤滑和泵冷卻的作用。壓縮氣體夾帶的油在油箱內由于折轉而被初步捕集。而后在出口油霧分離器中被*過濾。于是,排氣 中油含量下降至低于可見程度。
注:SOGEVAC系列泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性、易燃或易爆氣體。
德國Leybold萊寶真空泵的工作原理
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