電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）能分析元素周期表中的大部分元素。它具有多元素同時(shí)分析的能力，檢測(cè)限低，動(dòng)態(tài)范圍寬，也是無(wú)機(jī)納米粒子（ENPS）工程測(cè)量的理想選擇。由于可以直接使用ICP-MS獲得納米顆粒伴生元素的濃度，所以可以將粒子按大小首先分離，再使用ICP-MS分析，從而得到更多信息。常用的按大小分離的技術(shù)就是場(chǎng)流分級(jí)。通過(guò)將一定大小的分離材料引入ICP-MS，可以測(cè)出復(fù)雜的，多分散性的和化學(xué)異構(gòu)的ENPS的大小和元素組成。
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