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Ion Beam

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產品簡介

離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應用范圍廣。我們的設備具有靈活的硬件選項，包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統配置與實際應用緊密協調，以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。詢價增加到詢價列表在詢價列表中查看此產品

詳細介紹

質量薄膜高 ——超低污染
產量高，緊湊的系統體積設計 ——運行成本低
高速襯底架（高達1000RPM）設計，并配備了白光光學監視器（WLOM）——更為準確的實時光學薄膜控制
配置靈活 ——適于良好的研究應用
靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式

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