三豐粗糙度儀軟件【Surftest SJ-210】
■ 低測(cè)力,應(yīng)用于太陽(yáng)能硅片等粗糙度的測(cè)量,硅片表面線痕的測(cè)試。
■ 大型 LCD 屏幕窗口,易于清晰讀取。
■ 使用觸控式面板(具抗污性),作簡(jiǎn)易。
■ 可將數(shù)據(jù)儲(chǔ)存于記憶卡(選購(gòu)品)。
■ 意長(zhǎng)度設(shè)定機(jī)能。
■ 按 PRINT 鍵即可藉由內(nèi)藏式打印機(jī)打印出量測(cè)之結(jié)果(可選擇不同之打印方式)。
■ 內(nèi)藏 充電電池,本體攜帶方便也可收置檢出器。
■ 擁有豐富的參數(shù):自動(dòng)校正機(jī)能、統(tǒng)計(jì)處理、合否判定機(jī)能、客戶(hù)自行編輯設(shè)計(jì)機(jī)能判定機(jī)能
型號(hào) SJ-210
平移范圍 17.5mm ( 5" )
測(cè)量范圍 350μm ( ±150μm ) [12000μinch ( ±6000μinch ) ]
驅(qū)動(dòng) / 元件 探測(cè)儀 :178-390/178-395
測(cè)頭 : 金剛石
測(cè)量力 :4mN/0.75mN
探測(cè)方式 : 微感應(yīng)
評(píng)定輪廓 P , R
估計(jì)參數(shù) Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Sm,S,Pc,P3z,mr
數(shù)字過(guò)濾 2CR-75%,2CR-75% PC,Gaussian-50%
截 λC 0.25,0.8,2.5mm
波長(zhǎng) λS 2.5,8μm
取樣長(zhǎng)度( L ) 0.25,0.8,2.5mm
顯示 :彩色 LCD
打印機(jī):外置
數(shù)據(jù)輸出 通過(guò) RS232C 接口 /SPC 輸出
電源通過(guò) AC 適配器 / 電池(可充電)
尺寸 62×156.5×52mm
重量 0.48kg