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概述
SF6氣體抽真空及回充裝置設備，是用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠，使用運行科研等部門的裝置，對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體,同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。
回收裝置適用SF6電器及GIS組合電器等。
工作原理和結構特征
具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統比較wan全，參見附錄一系統圖。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電控箱和球閥來完成。
回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
工作流程說明
1、SF6氣體的回收
當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。（見圖1）
2、SF6開關抽真空
通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。（見圖2）
3、充氣
經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行：
1、借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。（見圖4）
2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。
SF6氣體抽真空及回充裝置設備
技術參數：
1、回收
回收初壓力≤0.8MPa
回收終壓力≤50KPa
回收時間：對初壓力0.8MPa的1 m3 SF6氣體容積，回收至終壓力50KPa，回收時間小于2.5小時。
2、充氣
對初壓力為133Pa的1 m3 SF6氣體容積充至0.8MPa，充氣時間小于0.8小時。
3、抽真空
裝置極限真空度小于等于10 Pa
對初壓力為0.1MPa的1 m3 SF6氣體容積抽真空至133Pa所需時間小于1.0小時。
4、貯存
貯存容器容積0.015m3
名義液態貯存量50kg
高貯存壓力3.8 MPa
5、凈化
對含水量1000PPM（體積比）以下的SF6氣體，經本裝置一次回收凈化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）
6、年泄漏率≤1%名義儲存量
7、噪聲≤75dB(A)聲壓級
8、工作環境溫度 -10°—40℃
9、功率≤5KW
10、電源：交流三相五線制 50HZ 380V±10%
11、重量約400 kg
12、外形尺寸（長×寬×高）：1360×800×1300
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