特征

• 持續(xù)高吸入壓力 可反復(fù)排至大氣

• 采用油泵強制潤滑方式

• 采用液壓油防吸裝置
  本機裝有油防吸裝置，可最大限度地減少液壓油回流到油缸中，減輕重新啟動泵時的負載。因此，您可以使用它，而不必擔(dān)心意外停電或因真空泵停止而未將進氣側(cè)恢復(fù)到大氣壓而引起的故障，例如泵油回流到氣缸中而導(dǎo)致重新啟動困難。

• 設(shè)計時考慮到維護。
  配備易于潤滑的大油蓋、可從多個方向檢查剩余油位的油位計以及可輕松更換機油。此外，該結(jié)構(gòu)使得在檢修或修理泵時無需拆除電機接線或吸入側(cè)管道即可進行維護。

• CE 、cTUVus Compliant符合
  CE標準，可在歐盟國家和歐洲經(jīng)濟區(qū)使用。還獲得了cTVUus標準，在北美可以放心使用。

• 采用ULVAC原裝高效（IE3 ）多電壓電機
  日本電機生產(chǎn)已統(tǒng)一為高效電機（ IE3 ），個別電機的進口也受（ IE3 ）管制。另外，在中國，《中國能源效率標識實施條例》已經(jīng)頒布，目前修訂為GB3級（GB18613-2012 ）。它配備了由 ULVAC 集團公司制造電機。

目的

• 蒸鍍設(shè)備、濺射設(shè)備、離子鍍設(shè)備

• 分析設(shè)備/泄漏測試設(shè)備

• 氣體置換/注液

• 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣、真空絕熱

• 真空吸附/真空成型

• 其他各種真空裝置

規(guī)格

注）：本規(guī)格采用Si單位制。非 Si 單位的換算如下。
　　6.7 Pa = 5 × 10 ^-2 Torr
*1 用皮拉尼真空計測量。 （對于 MacLeod 真空計，約為6.7 x 10 ^-2
Pa。） *2 VD90C 無法在 1,000 Pa 以上的壓力下連續(xù)運行。
　 連續(xù)運行時的最大處理量為 1,000 (Pa) / 600 (g/h)。
*3 出廠設(shè)置為 200V 級三角形連接。
　 如果您使用的電壓為400V級，請在使用前改為Y接法。

選項

適合特殊應(yīng)用的閥體選項

其他選項

*1 在高負載下連續(xù)運行時，泵溫度可能超過100℃，可能超過NBR橡膠的耐熱性，因此在選擇N型或B型時請小心。
*2 排出會使FKM（氟）橡膠劣化的乙二醇系氣體或液體時，請選擇此項。
*3 裝配檢查將使用氟油進行，但不包括在內(nèi)。如有需要，將另行安排。
*4 標準規(guī)格、N、B、H規(guī)格所含的油為R-72。可選油需要單獨安排。

配件

所使用的油霧捕集器的型號根據(jù)油霧捕集器泵的型號和操作條件的不同而不同。

*高負荷運行是指短時間內(nèi)在大氣和真空之間反復(fù)抽真空，或在10,000Pa以上的壓力下長期運行。

油過濾
為了防止灰塵、油泥等導(dǎo)致油變質(zhì)，我們建議同時使用油凈化器和油/水分離器。

其他
?氣鎮(zhèn)閥
?ISO法蘭
?油回收機構(gòu)