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• 愛拓利公司現主推 MFC330 和 MFC300 兩個系列熱式氣體質量流量計MFM,流量控制器MFC。
• MFC330系列 使用毛細管柱傳感器,其傳感器、比例閥等核心器件均為自主研發,具有穩定性高、抗腐
蝕、高精度、高重復性等特點。
• MFC300系列 使用MEMS傳感器原理,該系列產品具有響應速度快、無需預熱、精確度高等特點;
• 另有皂膜氣體流量標準裝置,第三方檢定單位。
• Aitoly 氣體質量流量計廣泛應用于科研院所、半導體、光伏、真空鍍膜、分析儀器、生物工藝和生物反應、
環境保護、石化、食品、工業自動化及等行業。