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應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
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TESCOM美國絕對減壓閥亞真空壓力調節器 64-5000系列 特點介紹
TESCOM 64-5000 系列超高純度、絕對/亞真空壓力減壓調節器可提供 10 Ra 的表面光潔度。
進口壓力為 120、600 或 3500 psi/8.3、41.4 或 241 巴,出口壓力范圍為 50 mm Hg 絕對值 -15 至 100 psi/50 mm Hg,絕對值 -1.0 至 6.9 巴。
應用領域
· 真空壓力控制
· 有毒氣體分析
· 閥門歧管箱
· 氣體柜
· 半導體制造特點和優勢
· 負偏壓控制真空和低壓
· 10 Ra微英寸/0.25微米內表面光潔度
· 金屬對金屬隔膜密封,密封性好
TESCOM美國絕對減壓閥亞真空壓力調節器 64-5000系列 規格參數
最大進口壓力120、600或3500磅/平方英寸8.3、41.4或241巴出口壓力范圍50 mm Hg
絕對值-15磅/平方英寸1.0巴50 mm Hg 絕對值-30磅/平方英寸2.1巴50 mm H g
絕對值-60磅/平方英寸4.1巴50mm Hg絕對值- 100磅/平方英尺6.9
巴設計證明壓力最大額定值的150%舷內泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He
操作溫度PTFE座:-40°F至140°F/ -40°C至60°C
特氟隆®座:-40至160°F/ - 40°C至71°C流體容量Cv=0.24(120磅/平方英寸/8.3巴型號)
Cv=0.15(600磅/平方英里/41.4巴型號)Cv = 0.06(3500磅/平方英寸/241巴型號)
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