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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>泵閥類>>閥>> 64-3200/64-3400系列美國艾默生TESCOM超高純度壓力減壓閥調節器
應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
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美國艾默生TESCOM超高純度壓力減壓閥調節器 64-3200/64-3400系列 特點介紹
TESCOM 64-3200 系列超高純度、高流量膜片式減壓調節器提供 10 Ra 微英寸 / 0.25 微米的表面光潔度,并采用哈氏合金® 倒角}倒角。
最大流量可達 31.8 SCFM/900 SLPM,進口壓力為 150、1000、1500 psig/10.3、69.0、103 bar
TESCOM 64-3400 系列雙級、超高純度壓力減壓調節器采用緊固膜片設計,表面光潔度為 10 Ra 微英寸 / 0.25 微米,可選配哈氏合金®}精加工。
進口壓力為 3500 psi/241 巴,出口壓力最高為 150 p si/10.3 bar
美國艾默生TESCOM超高純度壓力減壓閥調節器 64-3200/64-3400系列 規格參數
應用領域
·大宗特種氣體系統(BS GS)
·1/2"使用點·工具連接
·氣柜特點和優勢
·專為高流量大宗特種氣體而設計
·哈氏合金®可選修剪·正閉合密封,綁帶膜片設計·金屬對金屬膜片密封以保證高氣密性
應用領域
· 氣體室
· 半導體制造
· 研究實驗室特點和優勢
· 10 Ra微英寸/0.25微米內表面
· 可提供全內 Electropolish· 金屬到金屬的機身到隔膜密封,以實現高泄漏完整性· 選擇自由活塞或綁扎隔膜
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