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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>實驗設備>>鍍膜機>> 11427-AB日本filgen碳鍍膜機涂層系統快速響應高性能
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1-5萬 |
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應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本filgen碳鍍膜機涂層系統快速響應高性能 11427-AB 特點介紹
●節省空間/臺式濺射鍍膜機
●快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內電流可達 200A)——對樣品無熱損傷。
●可濺射/蝕刻
●可以通過移動樣品臺來調整到目標的距離。
●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進行樣品臺冷卻
●提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)
● CE、RoHS(有害物質限制):符合歐盟有害物質法規
● 多種組合可實現多種選擇(*見下文)
例) ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監視器
日本filgen碳鍍膜機涂層系統快速響應高性能 11427-AB 規格參數
尺寸 260(寬)×310(深)×150(高)毫米
沉積頭 碳纖維頭(標配)
碳桿頭
氣相沉積用碳 碳纖維(標準碳蒸發頭用)、
碳棒(碳蒸發頭用)
模型 11427-AB
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
作品 真空控制基座單元
碳涂層機模塊(帶碳纖維頭)
● 節省空間/臺式濺射鍍膜機
● 快速鍍膜(金鍍層在 20 秒內電流可達 200A)——對樣品無熱損傷。
● 可濺射/蝕刻
● 可以通過移動樣品臺來調整到目標的距離。
● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進行樣品臺冷卻
●提供各種靶材(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)(可選)
● CE、RoHS(有害物質限制):符合歐盟有害物質法規
● 多種組合可實現多種選擇(*見下文)
例) ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監視器
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