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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力調節器>> S-TORRⅤT50日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調節器調節閥
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 3千-6千 |
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應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調節器調節閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 特點介紹
●S-TORR調節器是在半導體工藝氣體生產線中備受信賴的TORR調節器基礎上開發的超高純度氣體用壓力調節器。
●通過排除氣體接觸部的螺紋結構,標準實施電解研磨,實現了水分置換特性、顆粒減少。
●主體與接頭的連接采用焊接,隔膜部的外部密封采用金屬密封結構。由于具有較高的外部密封性,即使在純度較高的氣體上也能放心使用。
●在一次室的流路內置過濾器,減少了內部泄漏的發生。
●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。
●STVT50系列采用串聯隔膜式,具有輸送液化氣體的堅固結構。
●從接觸氣體部排除彈簧,降低了顆粒發生風險。
●通過進行加溫供給,也能夠對應蒸汽壓為1.0MPa以上的氣體。最大使用壓力2.5MPa。
●作為腐蝕性氣體用,準備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。
日本日酸TANAKA液化氣體用壓力調節器調節閥 TANAKA日酸 S-TORRⅤT50 規格參數
入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:接觸氣體金屬部表面粗糙度:出入口口徑:外部泄漏量:2.5MPa0.6MPa220L/min(或)(P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2氣體)-5~40°C1.8kg(2端口),2.0kg(3端口)20μm/10μm(STVT50SH)Ra0.25μm(可選:Ra0.1μm)1/4"1.3 10-11Pa m3/sec以下
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