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產(chǎn)地類別	進口	價格區(qū)間	6千-1萬
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合

日本kk-ace氣壓計控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 特點介紹

該裝置是防止單晶圓清洗設(shè)備的主排氣管道中的壓力波動導(dǎo)致制造過程波動的裝置。我們開發(fā)的氣動橡膠膨脹閥可實現(xiàn)高速壓力控制，尺寸小，壓力損失極低。

通過適當(dāng)控制排氣壓力，還可以適當(dāng)管理排氣流量，從而可以通過管理排氣管道的總流量和壓力來顯著降低能源成本。

主要用途

? 單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制

? 潔凈通風(fēng)室和潔凈卡車的室壓控制

? 受排氣管壓力波動影響的設(shè)備和工藝

? 液晶顯示風(fēng)刀罐排氣壓力控制

? 潔凈室排氣壓力控制

日本kk-ace氣壓計控制器EPS5000系列差壓表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 規(guī)格參數(shù)

壓力損失 15 Nm3/min 時 50Pa（空氣） 10 Nm3/min 時20Pa以下（空氣） 10 Nm3/min 時20Pa以下（空氣）

控制閥連接 200A 管道輸出 150A 管道輸出 100A配管

調(diào)節(jié)壓力范圍（一次側(cè)壓力） -50至-999Pa（取決于與大氣壓力和二次壓力的壓差）

二次壓力（閥門下游壓力） (控制壓力-50)Pa以下

如果壓差小于該值，則初次調(diào)節(jié)范圍會變窄。

壓力精度 ±2%滿量程

控制紋波（穩(wěn)定控制時的變化） ±1%滿量程（二次側(cè)壓力波動±10Pa以內(nèi)）

耐壓（一次側(cè)壓力） 50kPa以內(nèi)（與大氣壓的壓差）

反應(yīng)能力 2 秒內(nèi)完成 98% 的設(shè)置（典型）

流體溫度 10～50℃

主機環(huán)境溫度（精度保證溫度） 15-35℃

電源電壓 24V直流±10%

外部輸出壓力信號：1至5V DC

報警：NPN晶體管集電極開路 DC 30V<100mA

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