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日本進口ulvac愛發科渦旋式干式真空泵內置自動復位DIS/DISL系列-DIS-252
這是一種通過使與固定螺旋壁（固定渦旋件）相對的螺旋壁（從動渦旋件）偏心移動來進行排氣的真空泵。
大排量、緊湊的尺寸
干式真空泵的最高極限壓力
內置自動復位型熱保護器的安全設計（單相）
空氣沖洗可防止濕氣凝結
物品單元50赫茲60赫茲
運行抽速升/分鐘 200 240
極限壓力帕 1.6
電機輸出瓦 400
大量的公斤 二十五
吸/排氣口毫米 KF-25/KF-16
工作環境溫度范圍℃ 5～40
最大尺寸毫米 264(寬)×397(長)×338(高)
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