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英國PORVAIR博韋爾微電子學氣體處理高純化學過濾
微電子設備
博韋爾為微電子行業制造廣泛的高純度多孔介質以及高效可靠的過濾產品。包括一系列產品,用于下面制造行業:
半導體
我們的優質 POU 過濾器經過廣泛測試,確保滿足半導體制造領域供氣系統的關鍵過濾效率、精確的流量控制和安全要求。
光伏
制造光伏設備的薄膜沉積工藝,關鍵的輸氣和供氣 系統選用了 Porvair GasProTM 高純度過濾器。
高亮度發光二極管 (HB LED)
在高亮度發光二極管制造中,Porvair GasProTM 過 濾器能夠去除工藝氣體中的亞微米顆粒。
在半導體和微電子行業的關鍵氣體處理和輸送應用中,這些產品確保極度清潔,這些應用包括:
氣體安全管理
排氣通風系統
流量控制
減少顆粒,提高良品率
層流擴散
壓力緩沖
阻燃。
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