目錄:北京中科科儀光電科技有限公司>>掃描電子顯微鏡>>場發(fā)射掃描電鏡>> EM8010場發(fā)射掃描電子顯微鏡
背散射電子圖像分辨率 | 3nm | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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二次電子圖象分辨率 | 1.5nmnm | 放大倍數(shù) | 8-1600000x |
加速電壓 | 0-30kV | 價格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 熱場發(fā)射 | 應用領域 | 化工,地礦,能源,冶金,司法 |
1、產(chǎn)品介紹
KYKYEM8010場發(fā)射掃描電子顯微鏡 低電壓下能夠保持較好的亮度和較高的分辨率,束流穩(wěn)定度高、色散小,適宜長時間的各種精確分析,一鍵standby功能,維護更方便,軟件操作簡便,提升用戶使用體驗。為科研高校、生命科學,新能源等領域客戶提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品解決方案。
2、產(chǎn)品特點
l 1.5nm@15Kv (SE),3nm@30kV (BSE)
l 低加速電壓保持較好的亮度和分辨率
l 低加速電壓不導電樣品可直接觀測,無需噴金
l 肖特基電子槍亮度高、單色性好、電子束斑小、壽命長
l 束流穩(wěn)定度高,色散小,適宜于長時間的各種精確分析
l 一鍵standby 維護更方便
l 具備光學導航,快速樣品定位
3、KYKYEM8010 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 技術指標:
分辨率 | 1.5nm@15KV(SE); 3nm@30KV(BSE) |
放大倍數(shù) | 光學放大倍數(shù)4-100倍;電子學放大8-800000倍 |
電子槍 | 肖特基熱場發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 0.2~30kV |
自動調整功能 | 聚焦,亮度/對比度、消像散、電子束對中 |
探測器 | 高真空二次電子探測器;紅外CCD攝像頭;一體化背散射探測器;光學導航探測器 |
樣品臺 | 五軸全自動中型樣品臺 行程: X=80mm,Y=50mm,Z=30mm,T=-5°~+70°,R=360° 最大樣品直徑: Ф175mm;最大樣品高度:20mm;樣品臺具有碰撞報警功能。 |
選配探測器 | BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等 |
4、應用領域
磷酸鐵鋰
芯片缺陷分析
氧化亞硅