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產品介紹
日本TEM-TECH騰泰克氣體面板用壓力傳感器HYPFZW-420TS3
日本TEM-TECH騰泰克氣體面板用壓力傳感器HYPFZW-420TS3
HYPFZW
集成型氣體面板用壓力傳感器
高精度·對環境變化具有高度穩定性
接觸氣體部為面向全SUS316L氣體面板壓力傳感器1g壓力:-0.1或
0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸出，各種集成尺寸的C硅、W硅接觸
部:SUS316L
用于半導體制造裝置氣體面板
產品介紹：
測定流體
半導體工藝氣體
接氣部材質
光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L
測定範囲
0 (-0.1)-0.3、0.5、1MPa
許容限度壓力
定格壓力x2倍
電源電壓
DC24V±10%
直流15~24V
出力信號
4~20mADC(2裸式)
0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC(3線式)
輪合精度
~0.5%FS(直線性、歇斯底里包括可再現性)
溫度補償範囲
0~溫度:不結冰、不結露
動作溫度範囲
0~80度(無結冰、無結露)
溫度特性
+/-0.05%FS/度C(溫度補償范圍內)
保護等級
IP55相當*室內規格
安裝螺釘
C硅、W硅
螺釘尺寸
1.125"1.5(請咨詢其他)
電纜取出
可裝卸式多治見連接器
附帶電纜
3m標準(2芯+屏蔽線)
3m標準(3芯+屏蔽線)
密封方法
特殊電子束焊接
泄漏量
<5x10 12P/秒
內面精細度
Ra:<0.25μm以下
Model: HYPFZW
HYPFZW-420TS2
HYPFZW-420TS1
HYPFZW-420TS3
HYPFZW-420PS1
HYPFZW-420PS2
HYPFZW-420PS3
HYPFZW-420MS1
HYPFZW-420MS2
HYPFZW-420MS3
HYPFZW-105TS2
HYPFZW-105TS1
