目錄:廣州市諾達電子有限公司>>固定式單一氣體報警儀 ND系列>> ND系列半導體廠房硅烷氣體泄漏檢測
參考價 | ¥1000-¥15000 | /件 |
參考價:¥1000 ~ ¥15000
更新時間:2024-08-24 08:39:11瀏覽次數:329評價
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,化工,能源,電氣 |
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什么是硅烷氣體:
硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氫化合物。目前應用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發著火范圍和的燃燒能量,決定了它是一種高危險性的氣體。
半導體廠房硅烷氣體泄漏檢測主要特點:
★速核系統:采用高精度32位高速微處理器,Epsion數據處理系統,速測危害氣體,高效預警毒氣泄漏;
★多級標定:業內智能化多級校準技術,多重濾波技術,更精準更快速地反饋現場濃度值;
★自動標定:通入實際標氣,無需標定員操作,智能識別標定;
★穩定性:經過嚴格的進料篩選工序,及行業經驗十幾年的研發人員匠心打造,抗EMC、EMI干擾,大幅度提高的可靠性;
★多結構的通訊方式:支持4-20mA與RS485單路或多路同時通訊,有線與內置無線433M/GPRS等無線多路通訊(選配);
★規范標準:JJF 1363-2012,JJF 1368-2012,JJF 1421-2013,JJF 1364-2012;GB3836-2010,GB 12476.5-2013。
半導體廠房硅烷氣體泄漏檢測技術規格參數及氣體種類: | ||||||
檢量程測氣體 | 硅烷 | 量程 | 0-10PPM/0-50PPM/0-20PPM (更多量程可以咨詢) | |||
分辨率 | 0.01PPM | 檢測原理 | 電化學原理/光離子原理 | |||
精度 | ≤±3F.S | 顯示方式 | 320*240高清彩屏 | |||
響應時間 | T90<30S | 恢復時間 | ≤30S(T90-T10) | |||
使用壽命 | 傳感器2-3年 | 檢測方式 | 擴散式 | |||
重復性 | ≤±1%F.S | 繼電器 | 容量 220VAC /24VDC | |||
無線輸出 (選配) | 433M(≤無障礙3公里 )(定制) GPRS(無距離限制)(定制) WIFI/zigbee/LORA(定制) | 有線輸出 (選配) | 485+開關量輸出 (標配) 4-20mA+RS485+開關量報警輸出 (定制) 以上任選一種 | |||
防護等級 | IP66 | 防爆等級 | 隔爆型:ExdⅡCT6 Gb | |||
尺寸 | 205*140*92mm(L×W×H) | 探頭材質 | 鋁合金、不銹鋼(可選) | |||
安裝方式 | 壁掛式、桿裝式、管道式 | 重量 | 1KG | |||
工作電壓 | 12-35VDC,常用12VDC、24VDC | 電氣接口 | 接線口尺寸:內螺牙 M20*1.5( G1/2內螺牙、G3/4內螺牙、 1/2NPT | |||
標準配件 | 探測器、說明書、紅外遙控器、廠家出廠檢測報告 | 選配件 | 防爆聲光報警、安裝支架、管道式安裝配件等 | |||
工作環境 | 溫度:催化燃燒:-40~+70℃;電化學:-20~+50℃;PID:-20~+50℃;紅外:-20~+50℃ 熒光法:-20~+50℃; 氧化鋯:-40℃~+700℃ 壓力:86-110Kpa;(氧化鋯:≤0.6Mpa) 濕度:15%RH~95%RH(無凝露) | |||||
產品功耗 | 電化學傳感器:P≤1.2W 紅外傳感器:P≤2.0W 普通催化傳感器:P≤2.6W 低功耗催化傳感器:P≤1.5W 熱導傳感器:P≤2.0W | |||||
執行標準 | GB15311.1-2003;GB3836.1-2010;GB3836.2-2010;GB3836.4-2010 |