產(chǎn)地類別 |
進口 |
價格區(qū)間 |
5千-1萬 |
儀器種類 |
通用型 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子,制藥,綜合 |
電源輸入 |
AC100V |
質(zhì)量 |
2.2kg |
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔,具有小型化圖案的晶圓,具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上,清洗半導(dǎo)體晶圓通過
化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導(dǎo)體晶圓,接觸點處的化學溶液振動,加速度去除表面的污垢。
■ 實現(xiàn)清潔清潔,減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
實現(xiàn)低損傷和高清潔度的新一代清潔,具有小型化圖案的晶圓,具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上,清洗半導(dǎo)體晶圓通過
化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導(dǎo)體晶圓,接觸點處的化學溶液振動,加速度去除表面的污垢。
■ 實現(xiàn)清潔清潔,減少對半導(dǎo)體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸,與使用橡膠材料的設(shè)備(如填料)相比,不會出現(xiàn)橡膠的洗脫或磨損。
2006年,我們成為一家將石英振動超聲波清洗裝置商業(yè)化的公司。在這種方法中,超聲波疊加在石英振動器上以清潔半導(dǎo)體晶圓。
與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學溶液的使用量,并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料(如填料)不與液體接觸,因此可以保持高水平的清潔度。
此外,通過根據(jù)用途準備石英振動器的形狀,可以根據(jù)需要進行有效的清潔,例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面(端面)和缺口(晶圓端面的切口)的清潔。
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
由于配備了換能器冷卻功能,因此通過用氣體(氮氣等)冷卻換能器,可以穩(wěn)定連續(xù)運行,而不會出現(xiàn)頻率波動。此外,通過冷卻,溫度不會突然變化,使用壽命長。
磨邊后的抗蝕劑殘留物去除,灰化后的聚合物去除,CMP后的柵極電極清洗