泵軸位置 |
臥式 |
輸送介質(zhì) |
其他 |
葉輪數(shù)目 |
其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
?可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
?低振動(dòng)低噪音。
?維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。
日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
特點(diǎn)
用途
分析設(shè)備
氣體回收系統(tǒng)
涂裝設(shè)備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導(dǎo)體制造工藝
日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
規(guī)格
| Unit | 50Hz | 60Hz | 設(shè)計(jì)排氣速度度※1 | L/min | 500 | 600 | 極限壓力 | Pa | 1.0 | 使用電動(dòng)機(jī)※2 | 單相 |
| 100/115/200/230V, 600W, 4P , 電容器啟動(dòng)?運(yùn)転 | 三相 | 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | 全負(fù)荷電流 | 單相 | A | 8.5/4.3/3.9 (100/200/230V) | 10.0/8.6/4.8/4.0 (100/115/200/230V) | 三相 | 2.7/1.57/1.57/1.63 (200/380/400/415V) | 2.8/2.6/2.5/1.47 (200/208/230/460V) | 重量 | 單相 | kg | 44.0 | 三相 | 38.0 | 吸氣口徑 |
| KF-40 | 排氣口徑 |
| KF-25 | 使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 5~40 | 水蒸氣處理量 | g/day | ≦25以下(AF開時(shí)※3, 室溫25℃, 濕度60%以下) | 噪音水平 | 單相 | dB | ≦62(AF開時(shí)※3, ≦70) | 三相 | ≦60(AF開時(shí)※3, ≦68) | 最大尺寸 | 單相 | mm | 290(W)×443(L)×397(H) | 三相 | 292(W)×372(L)×397(H) |
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中崎目前已獲得CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學(xué)、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機(jī)、HAYASHI林時(shí)計(jì)、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué)、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、NPM脈沖、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業(yè)、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達(dá)、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌授權(quán)認(rèn)證。